В конце прошлого года Минпромторг выделил 5,7 млрд рублей на разработку отечественных литографических сканеров. На днях стало известно, что Зеленоградский нанотехнологический центр (ЗНТЦ) приступил к проектным работам по этому заказу. Подробно о планах центра по проекту ресурсу zelenograd.ru рассказал генеральный директор ЗНТЦ Анатолий Ковалёв.
Центр заключил с Минпромторгом два контракта: один на разработку сканеров с уровнем топологии до 350 нм, второй — до 130 нм (в интервью говорится о степперах, хотя это старое название сканеров, когда фотомаски механически сдвигались для проекции на новый участок кремниевой подложки). В итоге, как планируется, полностью отечественные фотолитографы придут на замену импортным, в частности, используемым сейчас на зеленоградских фабриках.
Освоение серийного производства фотолитографов на 350 нм ожидается в 2025 году. Для установки будет взят готовый полупроводниковый лазер отечественного производства. Не исключено, что в будущем для этого могут быть также использованы лазеры зеленоградских компаний. Согласно контракту, проект сканера и его опытный образец должны быть готовы к концу 2024 года, включая всю документацию для запуска серийного производства установки.
Из конкурсной документации следует, что 350-нм сканер будет представлять собой 3,5-тонную установку размерами 2 × 2,6 × 2,5 м с управляющим комплексом габаритами 2 × 0,8 × 1,6 м. Установка ориентирована на обработку 150- и 200-мм кремниевых подложек.
Разработка 130-нм сканера завершится примерно на год позже. Для этого сканера будет с нуля создаваться отечественный 193-нм лазер, чтобы уйти от импортных комплектующих, в частности, от лазеров американской компании Cyber, которые сегодня широко используются на российских полупроводниковых заводах. По этой причине завершение проекта 130-нм сканера затянется на чуть большее время.
В серийное производство проект 130-нм сканера с возможностью обработки до сотни 200-мм пластин в час передадут в конце 2026 года. В дальнейшем установка будет модернизирована для выпуска чипов с меньшими технологическими нормами вплоть до 65 нм. Снижение размеров топологии, в том числе, будет достигаться двойным экспонированием. Основным типоразмером пластин для этого сканера станет 200-мм подложка с опциональным использованием 150-мм подложек.
По словам разработчиков, подавляющее большинство заказов на выпуск чипов в мире лежит в диапазоне от 250 до 65 нм, поэтому нет смысла гнаться за десятками и единицами нанометров. Для России в этом проекте главное — это уйти от возможных санкций на поставки промышленного полупроводникового оборудования. Собственное производство сканеров может обезопасить электронную промышленность страны.
Серийный производитель сканеров ещё не выбран. Это может быть ЗНТЦ, зеленоградские компании или белорусские партнёры в лице компании «Планар». В СССР литографические сканеры, которые, кстати, до сих пор продолжают работать на российских фабриках, выпускал минский завод «Планар». Эта практика может распространиться на выпуск сканеров нового поколения.
Комментарии
и да, почему-то никто из уважаемых диванных экспертов не отметил диаметр пластин.
150-200 мм пластины это реально нехорошо.
использование 300 мм пластин это гораздо лучше гонки за 14-11-7нм топологией.....
А почему не 450мм? это еще круче. У большего размера пластин - большие требования к точности на больших ходах и собственно больше вопросов надо решить чтобы ее обеспечить.
Вы забываете про остальные операции после литографии. Утонение пластин. Зондовый контроль. Разделение пластины на кристаллы. Установки посадки кристаллов. Рост размеров пластин ведет к росту площадей чистых комнат.
я слышал про макс. возможный диаметр 550 мм, но что про него разговаривать?
а 300 мм это де факто уже рядовой стандарт.
просто промышленность собиралась переходить на 450 мм пластины. По крайней мере начинались разговоры и писались статьи в районе 2005 года и около (Интел вроде особо активный был). Потом кризис в 2008 и похоже все заглохло.
Да 300мм есть - только выбор оборудования для него меньше. Многие западные формы больше потеряли на разработке оборудования на 300мм, чем заработали (малый сбыт). Поэтому только 200 мм. Потом можно перейти к 300мм, и то если будет необходимость. Только у нас под 300мм ничего нет и разрабатывать оборудование надо полностью с нуля всю линейку от производства слитка кремния до сборочных операций.
Я конечно может чего-то не понимаю, но задавать габариты установки такого рода в конкурсной документации это зачем? Установка уже есть и под нее пишется документ? Или мы собираемся передрать ASMLовскую железку, что в общем-то тоже вариант.
Полностью согласен, что даже если установка будет больше и тяжелее, то это совсем не критично, тем более, что ей нужна серьёзная защита от вибрации. Под неё всё равно придётся делать независимый от помещения массивный фундамент.
Да. Когда покупали японский станок ещё при Ельцине, фундамент поместили в стакан, наполненный песком. Причем песок тоже был специальным, импортным.
Это понятно вся высокоточная металлообработка со времен СССР на отдельных фундаментах стоит + термостабилизация цеха + запрещено движение грузового транспорта в радиусе н метров. Даже если вынуть паспорта к линейкам/мостикам/плитам, кои у меня в гараже нынче лежат, то им подавай и температуру и скорость ее изменения. Но это требования к помещениям, а не к изделию.
350 можно и в метро делать.
Уже хорошее дело, но что мешало это сделать раньше?
Видимо, вас ждали.
Тоже, что и помешает сделать в будущем.
"Эффективные менеджеры" - зачем тратить деньги на то, что уже и так есть в мире - проще купить готовые чипы. А когда пришло осознание что чипы могут не продать - вот и пошло шевеление.
да, Россия постепенно избавляется от идеологии "продать углеводороды, купить остальное". хочется (и нужно) иметь своё. всё, что только можно - от гвоздей до техпроцессов
Да, и бизнес и вездесущие "эффективные менеджеры" в этом убедились и тоже настроены на российский продукт.
Ещё бы компонентную базу начали производить за дёшево. Разница по ценам с КНР огромная.
Отсутствие у Вас денег на эту работу.
Шикарная новость!
Для военки, космоса и авиапромышленности и в атоме этих тех нормы то что нужно. Конечно это устаревшие процессы явно но хоть что-то начали делать шевелиться. Наработка технологий и компетенций и специалистов вот что важно.
ну посмотрим ...
Только один вопрос: почему этого не попытались сделать раньше? Наличие проблемы очевидно уже давно.
Были ещё остатки совести и разума.
Бугага, вот это попил! Вот так внаглую пилить бюджет - уметь надо!
Дык на мировой рекорд по попилу идут!
Аж по 81 копейке в месяц с носа каждого гражданина в течении четырех лет!
Если вам жалко - так и быть, заплачу за вас)
Перспективный чат детектед! Сим повелеваю - внести запись в реестр самых обсуждаемых за последние 4 часа.
Смотрю, месячные либерасты возбудились.
...
Интересно, эти ребята привлечены?
https://www.kommersant.ru/doc/2133972
По идее, на патенты в свете происходящего можно забить.
http://www.rnd-isan.ru/profil
О, смотрю двухлетние патриасты возбудились. Ну это и неудивительно, идиоты, которые абсолютно не в теме, радостно повизгивают от новостей, в которых ничерта не смыслят.
Говноед, пнх.
скажи по делу что-нить, дебил. Лично ты сколько операций литографии сделал за свою никчёмную жизнь, баран? Если не в теме, захлопни варежку.
Может хватит ругаться на других.
Если Вы в теме, то просветите, в чем Вы видите ПОПИЛ, и да - "Лично ты сколько операций литографии сделал за свою никчёмную жизнь, ...?"
Следующее оскорбление в адрес собеседника приведет к удалению Ваших комментариев.
Этот клоун сам начал.
Попил в том, что в РФ нет и не придвидится ни одного компонента сканеров. Это очень сложная система, состоящая из кучи компонентов точной механики и оптики, заточенных на сложные алгоритмы работы. А 5 ярдов дали на то, чтоб рассмотреть саму возможность создания хоть какого-то подобия сканера в РФ, о его призводстве вообще никакой речи не идёт...
Ну не стоит так преуменьшать заслуги отечественных специалистов. То чем сейчас торгует ASML - это заслуга и наших ученых:
"Кроме ИФМ (Институт физики микроструктур) разработкой источника излучения для EUV-фотолитографа в интересах ASML занималась группа из Института спектроскопии РАН".
Сейчас же, прошло то время, когда "запад высасывал все соки" из нас - пришло время самим обзавестись соответствующим оборудованием. И коробить это может только тех, кто бессилен в своей злобе к России.
Понятно - свидетель "града на холме" с непостижимыми для "ватников" технологиями.
Вот интересно однако. Процесс изготовления ИМС сорокалетней давности - емнип порядка 2000 технологических операций. И фотолитография одна из них, несколько раз повторяемая. А что с остальным оборудованием? Судя по беглому гугленью, зондовый автомат ЭМ680 разработки 1977 года, который я обслуживал лет 40 назад, кое где еще в строю ))
Какие-то машины делают на "Планаре" (я занимался приводом и участвовал в разработке зондового автомата ЭМ-6190, когда работал на планаре лет 10 назад), что-то в РФ. Но много-го нет и то что люди которые знали тонкости технологии и разработки уходят - это основная проблема, которую будет необходимо решать (но скорее проходить многое заново). Во времена СССР оборудование для сборочных операций делали в КБТЭМ в минске (сейчас планар) и в нижнем новгороде был НИИТОП.
Тьфу ты, ёпт. Ну посиди в интернетах на проце, изготовленном по технологии 300 нм. Интернет - роскошь же, понятное дело. Как джинсы лет 30-40 назад, ага. Так к аналогичному результату и придем...
Старый добрый Pentium MMX делался на 250-800 нм, и отлично на нем сидели в интернетах
А современные бровзеры это монстры, жрущие память и процессор как дурные. SQL сервер умеренной загрузки отлично работает на 16 гигах, а от хрома с 50+ вкладками такая же система тупит и в конце концов выкидывает это уродство вон.
Думайте, пожалста, хотя бы иногда. Если у вас есть машина времени, то вас устроит и 8008. Я же пишу про актуальные нужды, а не про то, как у меня хрен стоял 30 лет назад.
Именно на Ваши АКТУАЛЬНЫЕ нужды:
Вам и ответили. Чем не довольны?
Комментарий TydymBydym удален за неуважительное отношение к собеседнику.
Следующий комментарий такого-же содержания приведет к бану.
Была бы, как говорится, честь предложена...
Удивлен что ты не понимаешь, что "как раньше" в нонешнее, а тем более в затрашнее время - так уже не работает. Ну, счастливо оставаться.
Да никто не будет вас сажать на проц изготовленный по 300нм, эти чипы совсем для другого нужны, электроника - это не только процессоры для игр и интернета.
Ответ был строго на
Если за ними не гнаться, то про личное потребление можно спокойно забыть.
Смысла опускаться до 65 нм я не вижу никакого. Оборудование на нормы 90 ещё может найти заказчика в стране. 65 нм брать не будет никто. Ни один полупроводниковый завод, если он хочет что-то делать для Заказчика, такое производство не аттестует ни за какие взятки. На экспорт - пожалуйста; для Заказчика - ни-ни.
Смысл есть для всего. И для норм 300 нм тоже есть. Но нет смысла у комментариев в стиле "ну и нахрен нужны эти 28/16/10/7 нм?"
Для норм 300 нм практически наверняка есть. По крайней мере у нас на ликёроламповом.
Это надо проверять. Имеют смысл такие комментарии или нет - вопрос, похоже, открытый. Я уже высказывался по этому поводу:
https://aftershock.news/?q=comment/9964122#comment-9964122
Про смысл технологии 65 нм - для меня вопрос исчерпан.
"На...й нужно - скажем дружно!"
Насчёт тонких техпроцессов смотрите новость на СуН про транзисторы из углеродных нанотрубок. А если ещё учесть, что эти трубки сами по себе сверхпроводники при комнатной температуре и работать с ними (производить в пром масштабах, контролировать длину, слойность и слипание) у нас умеют лучше всех - копать в эту сторону, думаю, перспективней, чем пытаться повторить западные "2-3-7 нм".
Грабли. Если финансирование наше, то размещать у нас надо, а то очередная "бохатовекторность" у союзника взыграет под хвостом, выкобениваться начнёт и ... начинай сначала.
Надеюсь, с Планаром в РБ - это ляпнули не подумав.
Не надо ничего строить и развивать вне границ РФ
Годный срач. Ахтунг - пахнет трольчатиной! Автор, нет ли в обсуждении упырей? Сим повелеваю - внести запись в реестр самых обсуждаемых за день.
Страницы