В конце прошлого года Минпромторг выделил 5,7 млрд рублей на разработку отечественных литографических сканеров. На днях стало известно, что Зеленоградский нанотехнологический центр (ЗНТЦ) приступил к проектным работам по этому заказу. Подробно о планах центра по проекту ресурсу zelenograd.ru рассказал генеральный директор ЗНТЦ Анатолий Ковалёв.
Центр заключил с Минпромторгом два контракта: один на разработку сканеров с уровнем топологии до 350 нм, второй — до 130 нм (в интервью говорится о степперах, хотя это старое название сканеров, когда фотомаски механически сдвигались для проекции на новый участок кремниевой подложки). В итоге, как планируется, полностью отечественные фотолитографы придут на замену импортным, в частности, используемым сейчас на зеленоградских фабриках.
Освоение серийного производства фотолитографов на 350 нм ожидается в 2025 году. Для установки будет взят готовый полупроводниковый лазер отечественного производства. Не исключено, что в будущем для этого могут быть также использованы лазеры зеленоградских компаний. Согласно контракту, проект сканера и его опытный образец должны быть готовы к концу 2024 года, включая всю документацию для запуска серийного производства установки.
Из конкурсной документации следует, что 350-нм сканер будет представлять собой 3,5-тонную установку размерами 2 × 2,6 × 2,5 м с управляющим комплексом габаритами 2 × 0,8 × 1,6 м. Установка ориентирована на обработку 150- и 200-мм кремниевых подложек.
Разработка 130-нм сканера завершится примерно на год позже. Для этого сканера будет с нуля создаваться отечественный 193-нм лазер, чтобы уйти от импортных комплектующих, в частности, от лазеров американской компании Cyber, которые сегодня широко используются на российских полупроводниковых заводах. По этой причине завершение проекта 130-нм сканера затянется на чуть большее время.
В серийное производство проект 130-нм сканера с возможностью обработки до сотни 200-мм пластин в час передадут в конце 2026 года. В дальнейшем установка будет модернизирована для выпуска чипов с меньшими технологическими нормами вплоть до 65 нм. Снижение размеров топологии, в том числе, будет достигаться двойным экспонированием. Основным типоразмером пластин для этого сканера станет 200-мм подложка с опциональным использованием 150-мм подложек.
По словам разработчиков, подавляющее большинство заказов на выпуск чипов в мире лежит в диапазоне от 250 до 65 нм, поэтому нет смысла гнаться за десятками и единицами нанометров. Для России в этом проекте главное — это уйти от возможных санкций на поставки промышленного полупроводникового оборудования. Собственное производство сканеров может обезопасить электронную промышленность страны.
Серийный производитель сканеров ещё не выбран. Это может быть ЗНТЦ, зеленоградские компании или белорусские партнёры в лице компании «Планар». В СССР литографические сканеры, которые, кстати, до сих пор продолжают работать на российских фабриках, выпускал минский завод «Планар». Эта практика может распространиться на выпуск сканеров нового поколения.
Комментарии
А че не на Пульсе?
Это пусть админы решают - соответствует ли данная новость пульсу.
Поднял на Пульс, да.
Может не в РБ? А то котлетный протестуны могут могут нагадить.
Не в РБ у нас безмасочная фотолитография. Планар же выбран, во многом из-за того, что уже производит фотолитографическое оборудования для "толстых" процессов.
584А имела малосерийную разновидность с кварцевым объективом пропускавшим до меры в ВУФ можно было на 248/266нм спокойно работать вроде как до 190нм также можно было потянуть. В случае лазерного источника
Я её забирать должен был, приехал на предприятие в конце 1990-х из ФТИ, а за полтора месяца - месяца до меня уже вытащили в Зеленоград объектив. В чистых комнатах полный РАЗГРОМ, пол продал и лишь несколко установок были, одну показали с частичной работе, пнемвостол был в рабочем. По центру можно было бы иметь на оборудовании в ФТИ порядка 200нм разрешение в 1998 году.
Вершиной СССР в СЕРИЙНОЙ продукции был сканнер-степпер на 0,5мкм разрешение которых минимум две машины были на 0,35мкм - как раз 350нм и это 1990 - год в Ленинграде 6 машин стояло. При желании ту же память можно было делать до 250нм даже без двойного экспонирования и ряда ухищрений. В пределе на 6мм квадратике было достижимо 0,15-0,1мкм., этоблизко к тому что лет десять в Зеленограде не могут освоить. Стоять должны были в помещении где стоял электронно-лучевой литограф для изгтовления масок с разрешенем 60нм - был выкинут на степени говтоности 70-75% примерно по требованию Жореса Алфёрова как несвоевременный проект.
Через несколько лет за DVD многослойный и частично защиту формально за НЕ ЕГО а Трифонова гетероструктуры - я его видел, получил нобелевку.
А может и за в т.ч. то что успешно тормозил. Вместе с тем согласен с его словами по части покупки устаревшей зеа лет 5-10 до покупки технологии поликремния и части малой Эрликона.
Это был банальный вывод средств зарубеж. Кроме химпроцессоров ничего оттуда использовать для СОВРЕМЕННОГО техпроцесса нельзя.
Реальное а не говорящие головы, ВПР Русского сектора является иноагентом и работает на эксплуатацию а затем разрушение страны, уничтожение стараноообразующего русского населения в 20-21вв.
Ситуация похожа на мультяшного зайца, который выслеживать и охотится на зайца помогает охотникам:
Я изучил в достаточной дляданнного вывода степени историю технологий за последние 500 лет в России. Со смерти Ивана IV всё покатилось и с Русского сектора наиболее передовые технологии вывозились или им не давали широкого использования, как иначе продать то что было тут изобретено и впервые деланно как продукт ума тех же англосаксов. Ещё и издевались что де русские не могут ПОЛЬЗУЯСЬ без оплаты нашими же изобретениями, убивая таких как Ползунов, Ломоносов, Перский, Щодро-Мордвинов, Филлипов. Я носил очки человека убитого судя по симптомам медленным ядом в конце 1930-х - хорошим Инженером был, съездил в Москву в командировку.
И это ещё сезонные обострения не начались
Ой, я не уверен, что они сезонные, а не перманентные.
Владиславл тут на днях отчебучил... Кто-то из страдальцев притащил на АШ статью какого-то придурошного о том, что якобы некий доблестный советский технолог на своём заводе клепал силикатные кирпичи с прочностью, коей некоторые марки стали позавидуют, да славы в своём отечестве не сыскал. Я на этот момент, что кирпичам такое не доступно, и намекнул. И тут в наш светский разговор о
птичкахсиликатных кирпичах вихрем врывается Владиславл с заявлением, что это де нанокерамика. Но всего абзац, что сильно не характерно. Молчу. Возвращаюсь через пару минут, смотрю, а абзацев уже пяток, маэстро понесло в сторону графена. Ещё через пару - там уже ДВС и цикл Карно, пост уже выплёскивается за пределы экрана. Пишу ответ - "Горшочек! Не вари!". Смотрю, пришло сообщение от Владиславля в личку - "Считаю ваш ответ спамом".Нет слов, рыдалЪ. РыдалЪ и бился в конфуциях.
как бы Влада амерам подсунуть , он бы пентагон разорил нахер !!!))))
Хорошая идея, мне нравится, вполне может проканать. Главное не проговорится, что гений в реале работает по теме вентиляции.
В виртуале, я бы сказал, он тоже по ней.
Они бы второй космической достигли через десять минут разговора. Как добрый Э-эх.
Оо-0! Наш пострел везде поспел. Но зачем вы о нём так пишете? Интересно ведь бывает
поржатьпочитать... иногда.Он великолепный специалист во многих областях, например: эволюционная генетическая экономика и языковедение, литьё булата и его прецизионная ручная ковка, биологическая металлургия, прикладная шумерология, гомеопатическая археология, алхимическая фармацевтика, роевая нанодронология, цветная и чёрно-белая безсеребрянная фотолитография, практическая навигация по Марсу, Набиру и их окресностям, токсикологическая кулинария, одномерная топология в многомерном неевклидовом пространстве и, это, далеко не полный перечень специальностей, где он достиг наивысших высот.
Я горжусь тем, что мне довелось жить в одно время с ВладиславЛем. Люди, в далёком будущем, называя прошедшие века именами великих правителей, изобретателей, философов***, так и назовут нынешние времена - "Эпоха ВладиславЛя".
*** например: эпохи Демокрита, Сократа, Платона, Аристотеля, время Александра Македонского, время Леонардо Да Винчи, времена Архимеда и так далее.
Да! А учёных, работавших до него - довладиславлики.
Вас в спаме обвинили, а меня просто забанил )))
Ну, да, Мастер одарил меня своим вниманием, прежде чем забанить. Буду внукам рассказывать, что был одним из полутысячи.
Рыдаю с вами!!!
за собой следите
"поучайте лучше ваших паучат"
Вячеслав, умоляю вас, будьте осторожны. Англосаксонские "изобретатели"-убийцы охотятся за такими самородками как вы. Наверняка когда вы ходили в очках убитого в 1930-е годы изобретателя, вас заснял их спутник, и сейчас за вами идет охота. Если вас поймают - наколют вакциной Пфайзер, и вы превратитесь чип для смартфона.
ненене, только у себя
ну почему "нет"?
можно и "да".
но при условии, что завод "Планар" будет расположен в Беларусском (можно и в Западном) федеральном округе.
Вот и хорошо. С чего то надо начинать.
Все у нас получится!
130 на военку и промку вполне пойдет, но все-равно многовато.
Хотя бы до 20 добили в ближайшем будущем.
По стратегии к 30му году. Но вправо наверняка сроки уедут.
Многовато? С чего-то начинать надо. Чтобы получилось достаточно быстро и не слишком дорого. Замахнешься сразу на 7нм и проект можно хоронить не начиная. Для космоса и военки 130-250нм отлично. Остальное со временем.
7 - это маркетинг, хватит и 10.
Ну это само собой... «640 Кбайт должно быть достаточно для каждого»(с)
Физически у всех этих 7-10-14 вроде больше 20. Просто начали хитрить, там не размеры физические стали уменьшать, а компоновку делать по-другому. Поэтому правильно пишут - маркетинговые нанометры. Они тоже дают профит, но физически 7нм не являются 7нм.
Правильно составленный бухгалтерский отчет может показать убыток вместо прибыли и наоборот. Правильно измеренные транзисторы дают небывалый прогресс в техпроцессе. Вначале измеряли транзисторы целиком, потом стали измерять длину затвора и дошли до ширины дорожек. А так-то да, 7нм.
Нужно смотреть сколько транзисторов помещается на мм квадратном, тогда и будет понятно маркетинг это или нет.
И как тогда побеждать конкурентов, с таким-то подходом?
Это нацеленно исключительно потребности промышленности , инфраструктуры и оборонки.
В потребительсикй сегмент естественно ни-то не идет.
10, как и 14 - маркетинг)
По большому счету, меньше 65-90 нм уже излишество (там, где надо реально работать, а не терафлопсы в Косынке выдавать).
Но 28 нм для Эльбруса своими силами это вкусно, да. Но за 10 лет - утопия.
Петров и Боширов могут заехать в Велдховен, в гости к ASML. И это может ускорить работу над проектом.
Тем более что ее сканеры и так используются в Зеленограде "Микроном". Наверняка оборудование изучалось. Конечно посложнее ТУ-4, ну так и времени побольше есть.
РФ пыталась у голландского же конкурента ASML разработки перенять (на "М" название начиналось)
не знаю чем кончилось. но похоже попил точно удался
может уже и побывали в гостях. и завод 130нм "вдруг" выпустит продукты 60 или 40нм :))
К слову - белорусские и российские производители электронных компонентов полностью перекрывают всю потребность российской и белорусской автопромышленности в комплектующих..
Сериосли?
https://integral.by/ru/products/ims-dlya-avtomobilnoy-elektroniki
https://giricond.ru/product/kondensatory-i-filtry/
https://www.erkon-nn.ru/catalog/rezistory-obshchego-primeneniya/
http://reom.ru/katalog/34/254/
http://mstator.ru/ru
https://kulon.spb.ru/product-category/serijnaya-produkcziya/
http://ielekt.ru/brand/tez/
С НПП ТЭЗ ситуация - странная. Информация о продукции доступна только организациям. Но есть косвенные сведения.
https://www.angstrem.ru/catalog/analogovye_mikroskhemy/
http://www.moris.ru/~sztp/
http://www.sitsemi.ru/
(К1055ХП2Р
К1055ХП2Т )
Ну и так далее...
Давайте так сделаем назовите автомобили в которых используются эти самые керамические конденсаторы(и прочие у которых цена тбм договорная) и прочее барахло, что вы тут на линковали.
Диван горит?
Терпи.
Нет не горит, но хотелось бы увидеть фактуру по электронной промышленности, а не список производителей условных советских гвоздей и прочего. Вы конечно можете делать вид, что типо у нас всё в порядке и дальше рассказывать что наши большие интегральные микросхемы самые большие в мире, но это простите самый обычный наброс и тролинг.
Впрочем да я пожалуй зря у вас начал что-то спрашивать, так как по одному вашему заявлению дескать у нас всё есть уже можно было догадаться.
Вот в упор мне не понять, зачем в авто 7нм? Там ни потребление низкое не нужно, ни нагрев не важен, и даже высокая производительность особо не нужна(карты смотреть, да музыку слушать). И это в мультимедии, в управляющей электронике вообще пофиг.
"подавляющее большинство заказов на выпуск чипов в мире лежит в диапазоне от 250 до 65 нм"
Согласно этому исследованию:
доля фабрик с техпроцессом ...130нм составляет 49.7%, а для ...65нм - 74.9%
Так что, можно считать, что цели ставятся не только "уйти от возможных санкций на поставки промышленного полупроводникового оборудования", но учитывается и экспортный потенциал.
И в этом направлении уже ведутся работы - НИР «Разработка установки безмасочной рентгеновской нанолитографии на основе МЭМС динамической маски для формирования наноструктур с размерами от 13 нм и ниже на базе синхротронного и/или плазменного источника», шифр «Рентген-Литограф»
Кроме всего прочего надо не забывать что с так любимым мамкиными школьниками снижением нанометров очень резко возрастают "накладные расходы" тобишь даже у относительно оптимального 22/20нм не все миллиарды получающихся условных транзисторов кристалла могут быть использованы.
честная "гонка нанометров" закончилась где-то между 32 и 24 нм нормами.
все, что "меньше", описывается старинной русской поговоркой: "овчинка выделки не стОит".
Страницы