Несколько дней назад у меня вышла статья «Рентгеновская оптика для российского литографа. Начался симпозиум «Нанофизика и наноэлектроника», в которой я сообщил о начале проведения XXVIII Международного симпозиума «Нанофизика и наноэлектроника» в Нижнем Новгороде, на котором должен был выступить наш «главный по тарелочкам» (то есть, по рентгеновской оптике) — Николай Иванович Чхало.
В конце той статьи я пообещал озвучить новости про российский рентгеновский литограф, если таковые появятся. Так вот, сегодня, в последний день симпозиума, как и было запланировано, выступил Николай Иванович Чхало с докладом «Дорожная карта развития высокопроизводительной рентгеновской литографии в России».
Итак, что же он сказал интересного? Есть несколько новых моментов.
1. На сегодня работы ведёт не только ИФМ, растущий коллектив которого вы можете видеть на фото ниже:
Уже есть целая команда организаций с имеющимися научно-техническими заделами, которые способны решить проблему создания рентгеновского литографа.
Кстати, Николай Иванович ещё раз уточнил, что «рентгеновская литография» и «литография в экстремальном ультрафиолете» — это правомерные названия одной и той же технологии. От себя добавлю, что за рубежом сложилась практика называть эту литографию — литографией в экстремальном ультрафиолете, а у нас — рентгеновской.
Свойства излучения на самом краю ультрафиолетового диапазона на длине волны 11-13 нм идентичны свойствам рентгеновского диапазона, а не ультрафиолетового. Поэтому для исследований в этой области нужны знания именно рентгеновской оптики и ею занимаются соответствующие учёные, больше специализирующиеся на рентгене.
Отсюда, с их подачи, и сложилась такая практика, хотя формально условная граница между этими диапазонами, рентгеновским и ультрафиолетовым, проведена по округлённой цифре в 10 нм. что, конечно же, притянутая за уши условность. По факту, длины волн вокруг этих цифр обладают свойствами рентгена.
Кстати, в моей статье «Опасность сотовой связи 5G. Насколько она реальна? Высокие частоты» я приводил полную таблицу длин волн, из которой можно наглядно увидеть по круглым цифрам границ диапазонов всю условность деления электромагнитного диапазона волн на отрезки. Так что давайте уж использовать терминологию наших учёных, которая, несомненно, ближе к физической сути явления.
2. В докладе были перечислены 8 критически важных технологий, которыми надо обладать, чтобы собрать рентгеновский литограф, и даны оценки готовности данных технологий у нас в стране:
-
Сверхточная рентгеновская оптика.
-
Высокоэффективные источники рентгеновского излучения
-
Маски (фотошаблоны)
-
Высокоэффективные фильтры спектральной очистки и защиты маски, т.н. пелликлы.
-
Рентгено-резисты (чистая химия).
-
Системы совмещения.
-
Системы сканирования.
-
Автофокус.
По сверхточной рентгеновской оптике у нас имеются достаточно хорошие заделы. В ИФМ РАН умеют полировать подложки для асферических рентгеновских зеркал до необходимого сегодня уровня и знают, как повысить этот уровень до уровня компании Carl Zeiss для применения их в реальной литографической машине, когда такая потребность возникнет.
Что касается напыления зеркал, то ИФМ РАН имеет для этого 8 технологических установок, разработанных ими самостоятельно. Институту принадлежат рекордные коэффициенты отражения зеркал в диапазоне 9-30 нм, что выводит его в мировые лидеры по этой теме (что касается диапазона 6 нм, то он был признан институтом неперспективным, и работы по нему больше не ведутся, хотя результаты здесь тоже были неплохими, пусть на сегодня уже и уступили зарубежным).
По части высокоэффективных источников рентгеновского излучения в ИФМ РАН был разработан лазерно-плазменный источник на основе сверхзвуковой струи ксенона. Подтверждено, что ксеноновый источник является «чистым». Первые публикации в научных журналах по таким источникам появились в 2018 году, но практические результаты у нас уже есть.
В 2023-м году в ИФМ РАН был разработан прототип мощного источника рентгеновского излучения 10-14 нм для литографии на основе ксенона. Стенд находится в процессе монтажа и к концу года, скорее всего, будет уже запущен:
Примечательно, что ксеноновый источник с длиной волны 11,2 нм требует на порядок меньшую мощность входящего в его состав лазера, чем оловянный на 13,5 нм у ASML на 22 кВт (и 50 кВт в будущем).
Поставка рабочего экземпляра наносекундного диского лазера мощностью 60 Вт из ИПФ РАН в ИФМ РАН, как центрального компонента источника рентгеновского излучения, для целей исследований ожидается уже осенью этого (2024) года.
Также в ИПФ РАН уже давно разработан наносекундный дисковый лазер мощностью 650 Вт. В перспективе пары лет его мощность будет доведена до 1,2 кВт, а ещё через год — до 2,5 кВт, что хотя и является по оценке разработчиков пределом выбранной технологии, но уже вполне достаточно для применения в реальных источниках рентгеновского излучения на основе ксенона для серийных рентгеновских литографических машин.
Кстати, о преимуществах длины волны 11,2 нм я писал год назад в своей статье «Почему в перспективном российском EUV-литографе предлагается длина волны 11,2 нм а не 13,5 нм, как у ASML?», почитайте, там всё подробно изложено. Единственная поправка — безмасочный (бесфотошаблонный) рентгеновский литограф пока не разрабатывается. О причинах можно прочитать у меня в статье «МЭМС для бесфотошаблонного EUV-литографа в рамках НИР сделать не удалось».
По части отражающих масок (фотошаблонов) имеются свои сложности, связанные с эффектом затенения краёв из-за высоты маскирующего слоя а также с трудностями контроля глубинных дефектов при их изготовлении:
Именно эти сложности в ИФМ и пытались исключить, разрабатывая безмасочный (правильнее — бесфотошаблонный) литограф, но столкнулись со сложностями с МЭМС и производительностью литографа в целом.
На слайде ниже синим цветом показаны пока отсутствующие у нас технологии для изготовления масок, светлозелёным — имеющиеся, а тёмнозелёным — технологии, в которых мы являемся лидерами:
С высокоэффективными фильтрами спектральной очистки и защиты маски, т.н. пелликлами (ультратонкими плёнками), у ИФМ РАН тоже всё выглядит довольно неплохо. Более того, при разработке рентгеновских литографов ASML добивалась от своих машин той же производительности, что и от машин глубокого ультрафиолета, чем загнала себя в адски жёсткие условия, что вылилось впоследствии и в стоимость её оборудования и стоимость его обслуживания. У нас же пока не стоит проблемы необходимости сверхвысокой производительности оборудования, чтобы удовлетворять аппетиты всего мира.
Нам можно либо снизить требования к стойкости дорогих пелликлов, которые живут в машинах ASML всего 2-3 недели, после чего приходят в негодность от невероятной мощности излучения, либо сделать срок их жизни более длительным, что существенно удешевит обслуживание литографа.
Неплохие заделы у нас, внезапно, и по рентгенорезистам.
А вот с системами сканирования, совмещения и автофокуса у нас, по сути, нет ничего. Этой темой до сей поры в России не занимались. А между тем, требования к этим системам довольно жёсткие:
Кое-какие институты по отдельным компонентам, однако, существуют, то есть, где-то и есть, с чего расти, а что-то придётся начинать с нуля.
Итого, основные сложности при постройке рентгеновского литографа просматриваются именно с системами совмещения, системами сканирования и автофокусом.
Ну и, в заключение, посмотрим на обновлённые слайды этапов разработки рентгеновского литографа с уточнёнными характеристиками:
Альфа-машина — это не просто прототип, а рабочий прототип, на котором можно будет в ручном режиме обрабатывать 3 пластины в час, что вполне достаточно для выпуска инженерных образцов процессоров. При этом из-за ограничений пока ещё несовершенной системы совмещения и сканирования на этом этапе ожидается техпроцесс 90 нм.
Как и ранее, создание Альфа-машины прогнозируется через 3 года, машины второго этапа ещё через два, и третьего — ещё через два. То есть, «альфа» по оценке ИФМ РАН должна появиться в 2026-2027 годах, машина второго этапа в 2028-2029 и машина третьего этапа в районе 2030-2032 годов. Замечу, что эти даты определены ИФМ РАН исходя из приблизительной оценки состояния дел и возможностей, и не являются «обещаниями власти». Извините, для некоторых приходится уточнять :-)
В нашем обществе сформировалось довольно большое сообщество профессиональных скептиков, и это неудивительно, учитывая те процессы, свидетелями которых мы с вами являемся на протяжении последних 40 лет. Любую положительную информацию они изначально рассматривают, как ложную. Ну а как же — в современной России никогда ничего хорошего быть не может.
Тенденция последнего времени — резкое уменьшение количества членов секты «в рашке всегда всё плохо и ничего не будет». Видимо, свалили. Основной скепсис сегодня исходит от людей, считающих, что развитие науки и промышленности может быть только при социализме. То есть, это многие из тех, кто голосует за коммунистов.
Несмотря на то, что я застал социализм, и даже служил в то время срочную службу, причём застал этот социальный строй не в самой лучшей его форме, и видел все отрицательные черты его реализации у нас в стране, я всё же не могу не согласиться, что науку и промышленность в СССР развивали целенаправленно. Да, со всеми косяками и перегибами, но СССР и соцлагерь почти всё производили сами, были почти самодостаточны.
Да, отдельные позиции закупались у капстран, но в 70-х годах прошлого века это было скорее исключением, нежели правилом. После индустриализации, в ходе которой, в частности, в США действительно закупалось огромное количество различного оборудования и техники, СССР смог обеспечивать себя всем самым необходимым самостоятельно, в том числе, станками и машинами, которое вначале были иностранными.
Поэтому мне неприятно видеть злой или саркастический скепсис от «коммунистов», к идеям которых я отношусь с уважением, который они проявляют в адрес сегодняшней России и её попыток поднять собственную науку и производство. Ну вы же сами (коммунисты) были в подобном положении на заре индустриализации, и сталкивались с противодействием «несознательных элементов».
Сейчас та же самая ситуация. Власть не однородна, особенно средний уровень. Там ещё полно этих самых «несознательных элементов», зачастую просто саботирующих процесс. Только время сейчас такое, что после перегибов сталинского времени повторять чистки элит теми же методами, наверное, не очень правильно. Поэтому и очистка проходит дольше. Но она проходит, Чубайсятину выдавливают, другие (приспособленцы) соглашаются работать по новым правилам.
И ещё я бы попросил различать сам социальный строй и конкретные реализации социального строя. Социалистический строй сферической формы в вакууме, безусловно, справедливее такого-же капиталистического строя. Но проблема в реализациях. В СССР реализация была, мягко скажем, не самая лучшая. Между тем, реализация капитализма в некоторых странах стала чем-то напоминать социализм. Китай вообще реализовал прекрасный гибрид, и умело этим пользуется.
Поэтому я призываю своих читателей забыть политические раздоры между собой, и раз уж невозможно на данном этапе резко взять, и поменять социальный строй на тот, который хочется, то хотя бы порадоваться тому, что удалось добиться стране и при этом строе, а успехи есть. И основным их драйвером, несомненно, является геополитическая обстановка. Впрочем, как и в случае с СССР. Не уверен, что СССР развивал бы свою науку и промышленность теми же темпами, если бы весь мир целовал его взасос и продавал ему всё, что он хочет, а цена на нефть и газ была бы сегодняшней.
Это, кстати, в копилку того, что не социальный строй определяет технический прогресс отдельно взятой страны (как мы помним, капиталистические США всё же обгоняли СССР технологически по многим важным направлениям), а геополитическая обстановка вокруг неё, в которой страна вынуждена находиться.
Социальный строй определяет лишь степень справедливости распределения материальных ресурсов, а это дело такое... люди в основной своей массе при справедливом социализме в СССР жили бедно, а при несправедливом капитализме в США или Европе — на довольно высоком уровне.
Не будем вдаваться в подробности, почему так (за счёт ограбления колоний, не за счёт ограбления, не важно), но это факт. Думаю, что без ограбления колоний они бы жили, скажем, на том же уровне, что и люди в СССР. То есть, справедливость распределения благ влияет, разве что, только на величину чувства зависти к ближнему, и не более того. Ну, плюс-минус.
Это я опять же к тому, что в социальный строй упираться не надо, надо упираться в его реализацию, в грамотную реализацию того, что уже есть. И в работу в тех условиях, которые есть. Если бы учёные, чтобы начать работать, каждый раз ждали бы смены строя, мы бы очередной раз уронили бы страну. Так что давайте поспокойнее, сограждане :-)
Собственно, к теме литографа
После такого длинного вступления (ну прорвало меня, извиняйте), и на её основе, хочу всё же вернуться к теме создания у нас в России рентгеновского литографа — ключевой и самой сложной и дорогостоящей установки в линии производства микропроцессоров.
Многие читатели высказывают скепсис возможности и самого смысла построения рентгеновского литографа в России на том основании, что технология рентгеновской литографии разрабатывалась всем миром с начала 1990-х, а смогла воплотиться в коммерческих машинах для серийного производства СБИС лишь в самом конце 2010-х. То есть, прошло около 30 лет. Значит, и Россия если и сможет построить такую машину в одиночку, то не ранее, чем через 30 лет.
Вторым аргументом скептиков является ошеломляющая стоимость рентгеновского литографа — более 300 000 000 евро, а новая их модель будет стоить уже около миллиарда евро! И это при том, что компании, покупающие это оборудование, до этого на протяжении 30 лет финансировали этот проект! Так сколько же они затратили на него всего?
Ситуация с этим скептицизмом напоминает ситуацию с тем же скептицизмом по поводу разработки отечественной операционной системы. Те же аргументы и те же ошибки в логике. Про операционную систему даже говорить уже не хочу. Сколько не объясняешь, что там всё уже по другому и прямой перенос затрат сильно некорректен, как и лобовое перемножение количества строк исходника ядра Линукс или кода Windows по специальной формуле на зарплату программистов и т.п. — ну какой смысл считать строки кода реальных ОС чёрт ти каких уже версий... да и сумма там даже в этом случае не баснословная... ладно, вернёмся к литографу.
Почему аргументы скептиков о времени и стоимости разработки рентгеновского литографа некорректны? Давайте разбираться по пунктам.
Во-первых, когда в 90-х разработки только начинались, всё, как говорится, было впервые и вновь. Учёные тратили кучу времени и средств на неизведанные ранее вещи. Пробовали то, это, пятое, десятое. Тыкались почти вслепую, как котята, и нарабатывали ворох сопутствующих технологий, которых раньше ни у кого не было, часть из которых оказывались не нужными.
Сегодня даже в России уже имеется большинство нужных для построения рентгеновского литографа технологий, некоторые из которых появились благодаря участию ИФМ РАН в работе с ASML на этапе зарождения технологии, а оставшиеся достаточно просто повторить.
Для этого можно использовать имеющиеся в открытом доступе научные труды, попробовать заинтересовать учёных, которые это уже делали в других странах, в конце концов, можно получить нужные технологии, используя промышленный шпионаж, которым занимаются все и всегда во всём мире. В общем, повторить то, что уже сделано, в современном мире намного легче.
Во-вторых, когда какая-то технология вдруг давала нужный результат, её начинали дорабатывать — всё равно альтернатив не было. Так что дорабатывали вне зависимости от того, насколько она оказывалась удачной (с современной точки зрения). Главное — чтобы давала результат.
Например, это касается установки рентгеновского излучения на основе олова с длиной волны 13,5 нм. Не очень удачный выбор, как выяснилось впоследствии, но на нём в дальнейшем строилось всё остальное. Когда вложились во что-то одно, менять это на что-то другое уже не так просто.
Но такой излучатель имеет массу проблем:
-
Процесс очень «грязный», нужны сложные системы защиты оптики от загрязнений.
-
Низкий ресурс работы коллектора и генератора капель.
-
Большие потери излучения в системах защиты.
-
Использование крупногабаритной системы на базе CO₂-лазера мощностью свыше 20 кВт. Лазер с двумя «сеятелями» и четырьмя ступенями усиления настолько велик, что его приходится размещать на отдельном этаже под рентгеновским литографом:
В российском же проекте предполагается использовать другой источник рентгеновского излучения — на основе ксенона, первые публикации по которому появились в научной литературе только в 2018 году.
Он в разы компактнее и намного «чище» оловянного, что сильно продлевает жизнь оптике, пелликлам (защитным и фильтрующим ультратонким плёнкам) и т.п., позволяет сделать их более прозрачными и даёт излучение более короткой длины волны — 11,2 нм вместо 13,5, что увеличивает оптическое разрешение на 20%.
При сохранении же оптического разрешения, уменьшение длины волны позволяет кратно упростить и удешевить объектив, не добиваясь у него большой числовой апертуры.
Кроме всего вышеперечисленного, лазер, использующийся для работы рентгеновского излучателя, требуется на порядок меньшей мощности.
Многослойные зеркала Ru/Be на отражение длины волны 11,2 нм тоже были разработаны в ИФМ РАН относительно недавно, и имеют коэффициент отражения 72,2%, что выше, чем у Mo/Si с коэффициентом 70,2%, разработанные ранее для длины волны 13,5 нм. Это повышает эффективность всей оптической системы в 1,4 раза.
Кстати, ИФМ РАН принадлежат рекордные коэффициенты отражения любых зеркал в диапазоне 9-30 нм, что выводит его по этому параметру в мировые лидеры. Ну это так. Звучит для многих неожиданно и непривычно, но наш институт — мировой лидер.
Так что всего лишь переход на ксеноновый источник рентгеновского излучения уже позволяет сильно упростить и удешевить конструкцию.
В-третьих, рентгеновские литографы ASML разрабатывались с расчётом на ту же производительность, на которую ранее разрабатывались DUV-литографы (с источником излучения глубокого ультрафиолета). Это было жёсткое условие, поскольку фабрики должны были обеспечить потребности всего мира. Но это же загнало ASML в очень тяжёлое положение.
Оказалось, что производительность можно было сохранить только сильным удорожанием важнейших компонентов литографа и повышенной стоимостью его дальнейшего обслуживания из-за частых замен износившихся или загрязнённых очень дорогостоящих расходников. Что и было сделано.
Ну вот, собственно, и получается, что спустя 30 лет на этапе сегодняшнего технологического развития, можно построить тот же самый рентгеновский литограф, пусть и меньшей производительности (до 100 пластин в час), силами одной только России, и не за 30 а всего за 7 лет.
Да, это тоже много, но по оценкам учёных, рабочий прототип под техпроцесс 90 нм (ограничение системы позиционирования) можно будет собрать уже за 3 года, а затем совершенствовать его вплоть до 12 нм в течение последующих четырёх лет.
Про ограничения системы позиционирования я упомянул неспроста. Дело в том, что на сегодня у нас нет вообще никаких наработок по системам совмещения, сканирования и автофокуса, и их придётся делать с нуля. Определённая научная база у нас по этой теме имеется, но разработок необходимого уровня точности нет.
Напомню, что внутри литографа ASML кремниевые пластины удерживаются на специальных стеклянных держателях. Держатели перемещаются с ускорением до 3g, позиционируя пластину с точностью до одного нанометра. В то же время пластина освещается рентгеновским излучением при тепловой нагрузке 30 кВт/м², не теряя своего точного местоположения. В случае российского литографа фактор тепловой нагрузки, скорее всего, будет менее заметен, тем не менее, задача перед нашими учёными стоит довольно сложная.
Заключение
Я не испытываю иллюзий относительно простоты создания отечественного литографа. Несомненно, это задача очень сложная, но посильная. О том, что обо всём этом думает один из ведущих разработчиков рентгеновской оптической системы, Николай Иванович Чхало, можно почитать в моей предыдущей статье «Российский литограф на 28 нм, когда он будет создан? Актуальная информация с симпозиума 15 марта 2024 года!».
Напомню, что по его оценке, если к непосредственным работам приступить уже сейчас, то создание Альфа-машины можно ожидать через 3 года, машины второго этапа ещё через два, и третьего — ещё через два. То есть, «альфа» по оценке Чхало должна появиться в 2026-2027 годах, машина второго этапа в 2028-2029 и машина третьего этапа в районе 2030-2032 годов.
Напомню свой прогноз полугодичной давности, когда задачу проработки предложений по литографу только-только поставили перед «Росатомом»:
По моим ощущениям, техпроцесс 28 нм у нас появится к 2030-му году. Возможно, машину на 28 нм удастся сделать и сразу к 2028 году в первом промышленном поколении. Это оптимистичный прогноз. А вот мой пессимистичный прогноз — 32 нм мы получим к 2030-му году а 28 нм у 2032-му. А как оно там на самом деле получится, покажет время.
То есть, всё примерно то же самое. Это я напомнил для тех, кто говорит, что в своих прогнозах я со временем постоянно сдвигаю сроки вправо :-)
Сроки вправо на моей памяти серьёзно поползли только один раз, в 2022 году, и по вполне очевидным причинам ))) Форс-мажор. Если раньше мы строили планы, рассчитывая закупать компоненты для строительства литографов за рубежом, то после 2022 года стало понятно, что ипортозамещаться придётся более глубоко. Ну, может быть, оно и к лучшему. Иначе могли бы на модульном принципе сборки и остановиться и реальное, глубинное развитие промышленности никто бы не субсидировал так, как это делается сейчас, особенно в оборонном секторе, но и в гражданском тоже.
В общем, я смотрю, что наша страна, как правило, развивает свою науку и промышленность не столько по идеологическим или экономическим соображениям для игры в долгую, столько только тогда, когда просто вынуждена это делать, чтобы выжить. Что при СССР из-за опущенного западом железного занавеса, что сейчас, из-за такого-же железного занавеса, опущенного опять же ими. Или я не прав?
Ну что же, прогресс особенно интенсивно ускоряется в периоды глобальных геополитических соревнований. Прошлое соревнование дало миру атомную энергию, космос и даже, не побоюсь этого слова, Интернет, а нынешнее, думаю, даст миру искусственный интеллект (не буду сейчас распространяться, почему, но битва за него между ведущими странами уже идёт не на жизнь, а насмерть, если вы не заметили...).
Комментарии
Электромозг, пожалуй, лучший на сейчас автор статей-обзоров по литографии.
Он, увы, не очень хорошо разбирается в том, что обозревает. Если хочется грамотного обзора, то лучше слушать/смотреть как раз обзорные доклады по теме с той же конференции.
Конечно, если подробностей не нужно, даже обзорный доклад без соотвествующего образования слушать, может быть, тяжеловато.
Но вот как пример: человек делает вывод о преимуществах 11нм (ксенон) перед 13нм (олово) не понимая, почему именно ксенон был откинут в работах ASML 20 лет назад (а ведь ксенон - да, "чище", много проще, не нужно дико сложной механики с микрокапельками и многостадийными испарением/ионизацией и сложным профилем импульса). С его слов вообще может показаться, что типа, буржуи взяли и профукали такую возможность. На самом деле, конечно, нет, и ксенон всем давно известен (и пробовали с ним что-то делать 20 лет назад), и недостаток ксенона всем (и русским тоже) понятен - на порядок (ну или сейчас в разы) меньшая плотность мощности.
Соотвественно - при прочих равных бОльшее время экспозиции, принципиально меньшая производительность машины в те же разы.
Короче, всё сложно.
А он упрощает. До предела прямо, и даже ниже.
...хотя, может, в популярном блоге так и надо, не знаю. Кому нужны занудные подробности?
Может для РФ и нужна машина на ксеноне ? Менее производительная, но более простая и возможно более дешевая. А производительность добирать через количество машин в работе. У буржуев могут быть свои требования: мобильность, компактность, высокая производительность. Для РФ же возможно использование большого стационарного источника, не очень высокой производительности но более низкой цены разработки. Т.к. для внутри росс потребления пока не нужны большие серии.
Более производительная и есть в данном случае более дешёвая. :)
Если б на всю Россию всего одна машина нужна была бы - да, дешевизна одной машины играла бы. Но нужны десятки штук абсолютный минимум, если не сотни. А в 5 раз менее производительных нужно в 5 раз больше, при том что разница в цене там никак не 5 раз, а в лучшем случае десятки процентов.
Ну или в три раза, если, как они говорят, можно увеличить выход с ксенона.
При этом не факт, что ксенон дешевле вообще даже при меньшей производительности. Может быть, но не факт. Выход рентгена меньше, а значит - больше мощность ИК накачки, больше очень дорогих импульсных лазеров. Запросто и дороже может быть.
В общем, всё очень непросто.
А у Электромозга получается всё просто: у нас ксенон, он чище-проще, здорово, парам-парам.
Я может быть все путаю, но вроде в качестве источника хотят использовать большой синхротрон. А сам синхротрон будет источником для разных производств и исследований. Т.е. мест размещения для обработки пластин будет 2..3 в РФ. Иначе говоря это все равно сначала это будет экспериментальная установка и чем более простая она будет на 1 этапе тем выше вероятность получить что то работающее на 2 этапе.
Только тут, скорее, наоборот. Синхротрон - это одна из альтернатив как раз для отработки. Тоже со своими недостатками. Главные из которых - размеры и цена. Но есть и другие: синхротронное излучение - это ж не луч ЛСЭ, оно не монохроматично. Собссно, почему все и возятся с локальными источниками местного мягкого рентгена - олово, ксенон... Много проще, компактнее, дешевле, чем офигенная машина в огромном здании, с питанием мегаватты и десятками человек обслуги.
...и нет, я не согласен, что России нужны только малые серии. Электронику полного цикла нужно иметь свою, закрывая как минимум весь свой рынок.
Так синхротрон все равно в РФ хотят строить для других целей. Китай тоже хочет на синхротроне делать установку для обработки кремниевых пластин. Идея вроде следующая: чем тоньше техпроцесс, тем массивнее источник. Т.е. все равно для совсем тонкого процесса нужен синхротрон. А голландцы его не делали, т.к. торгуют оборудованием по всему миру и им нужна мобильность.
Например Директор ИЯФ, академик РАН Павел Логачев, сообщил, что специалисты Института ядерной физики им. Г. И. Будкера СО РАН (Новосибирск) планируют за три года восстановить технологический накопительный комплекс (ТНК) в Зеленограде. ТНК был построен к 1991 году, но в связи с распадом СССР не был запущен в работу. Фактически, это ускоритель частиц, энергию которых можно использовать для полупроводниковой литографии.
https://3dnews.ru/1098017/v-zelenograde-vosstanovyat-sinhrotron-i-prisposobyat-dlya-proizvodstva-peredovih-mikroshem
Если этот синхротрон будет полностью отдан под электронику, то процесс организовать можно (там же прямо нужно будет с фоторезистом работать - не таскать же засвеченные пластины туда-сюда в другое здание для плазмохимии или напыления. Но это ОЧЕНЬ недешёвое удовольствие.
Так-то могло бы быть неплохим выходом. Особенно, если есть техническая возможность встроить в кольцо современные источники света - вигглеры/ондуляторы. Но тогда вообще вокруг ускорителя должно строиться всё производство.
Иногда откидывают что то, технологии развиваются и возвращаются к старому на новом уровне.
Так что не надо прям уж так обвинять кого то в непрофессионализме. Тем более, когда он не может ответить
Бывает и такое. Но пока тут неясно, новый ли это уровень.
А он претендовал на то, что профессионал? :) Ну, чтобы мне обвинять? :)
Не может, и не может. Я ж с ним не ругаюсь заочно. Просто говорю, что лучше материалы конфы смотреть, на Ютубе даже видео докладов есть (хотя просмотров какое-то смешное - пара сотен :))
Самого себя назвать профессионалом как то нескромно
Если правда, то мог бы, почему нет?
Но, КМК, он не по тому профилю, а где-то около.
//На самом деле, конечно, нет, и ксенон всем давно известен// Из литературы известно (с). Любимый оборот тех, кому не известно НИЧЕГО и кто не хочет/не может (-нужное подчеркнуть) разбираться в деталях. зы Прямо ностальгическая волна по СССР-овским СОАН-овским семинарам накрыла.. :))) зы Тот, кто что-нибудь когда-нибудь, и правда, делал, например алгоритм, щелкающий, как семечки, свер-жесткие задачи он-лайн на домашнем ПК и/или простенькую (с виду) установку, где от результатов у "экспертного сообщества" случался коллективный обморок, тот знает, что дьявол ВСЕГДА именно в деталях (с). Работать надо и все получится.
Я просто хотел сказал, что ксенон в ASML рассматривали, и отказались от него. Отказались не просто так, а по объективным причинам, которые никуда не делись, и в России те же, что и в Голландии.
ЭЛЕКТРОМОЗГ сильно упрощает вплоть до критичного искажения смысла.А так-то работать, конечно, надо.
Упрощать, конечно, не нужно, но и отбрасывать темы, даже если они раньше у кого-то не взлетели - тоже не стоит. Нужно вкладывать, вкладывать, вкладывать (-это про деньги), ну и работать конечно. Нерешаемые, научно-технические задачи решают, как правило, аутисты (-в хорошем смысле) в дополняющей их группе соратников: энциклопедисты, прагматики, фонтанирующие шизоиды, снабженцы-фокусники, прекрасные дамы (-мотиваторы) и т.д. Ну и правильный лидер, конечно. Он же, по совместительтву, хранитель коллектива и результатов.
Даже из вашего аргумента следует, что всё очень не просто. Вы сами говорите, что ксенон получается сильно дешевле и проще олова при кратной просадке производительности.
Но если вот тупо промасштабировать результат и сравнить несколько установок на ксеноне с одной на олове сопостовимой производительности, что в результате будет дешевле?
Поскольку полной установки с ксеноном ещё нет, то строго говоря неизвестно. Но есть все причины думать, что много дешевле будет олово, и пока нет ни одной причины думать иначе.
Тут всё очень просто: сам источник рентгена в любом случае - лишь малая часть установки, там есть ещё очень дорогие системы. Поэтому даже будь источник рентгена бесплатным, он слабо повлиял бы на общую цену, а вот производительность источника в разы меньше определяет в разы меньшую производительность всей системы.
Поэтому в ASML и был сделан такой выбор в пользу олова. Правда, товарищи утверждают, что у них с ксеноном результаты чуть лучше, чем у ASML тогда. Может, у них получится, что ксенон не настолько хуже, как думали тогда.
Опять же, может у них получится компенсировать качеством зеркал: зеркал несколько (5-7), проценты разницы могут складываться в итоге в большую разницу в доставленной к пластине дозе. А может получиться и наоборот, и из-за повышенной мощности лазеров накачки источник на ксеноне окажется, напротив и сложнее и дороже олова, и это при худшей в разы производительности. "Быстрый" ИК-лазер - тоже штука очень непростая и дорогая и в изготовлении и в обслуживании.
Не только по литографии...
Салащенко, оказывается, умер.
Только только начали масштабные работы по его темам, которые он тянул долгие годы.
вот эти люди и есть элита нашей страны!!!!
Спасибо, очень интересно. Побольше бы таких публикаций на АШ.
Так чего же не приступают ?
Не профессионал, но чуть чуть касался темы.
Там дело не только в сборке одного литографа.
Там ещё и вся экономика должна завестись.
Собрать 100 литографов, уметь производить матрицы, содержать чистые комнаты, производить системы очистки, снижать количество брака (который будет). Все это про экономику.
TSML работает с прибылью 10% на весь мир. Нам надо сделать, чтобы это окупалось в рамках страны или региона.
Иначе инвестиции минус.
Чисто моё мнение.
Вот именно по этому - для себя инвестиции в минус и были потеряны десятилетия.
Нам не надо чтобы обязательно прибыльно было.
Нам надо чтобы вообще БЫЛО.
А прибыльность дотировать сверхдоходами от нефти.
Как сейчас дотируется вся экономика.
Рассуждали ранее как вы, потеряли несколько десятилетий.
Это скользкий путь к неэффективности и неконкурентоспособности.
Неэффективность в одой подотрасли приведет к повышению эффективности в гораздо более широких (более масштабных) областей.
Ваши общие рассуждения о эффективности хороши в идеальных рыночных условиях - открытая конкуренция без вмешательства государства. Но если нам не продают:
- оборудование для микроэлектроники
- без оборудования для микроэлектроники мы не можем проивести современные микросхемы
- без современных микросхем мы не можем производить широкую номенклатуру ИТ, радиоэлектроники, военной техники итд - вынуждены закупать через третьи страны и ТЕРЯЕМ на этом кучу денег!!!
Так выгодно или нет - производить самим оборудование для микроэлектроники в убыток?
Для микроэлектроники - убыточно, а для экономики страны - ВЫГОДНО .. и повышает конкурентоспособность нашей экономики в ЦЕЛОМ ..
Почему "не приступают"? Есть целевая программа, люди работают.
Спасибо!
Большое спасибо!
Не поленился, прочёл полностью.
Крайне толковые рассуждения.
Народ, ЗАЧЕМ фото людей публиковать? Вы понимаете, что сейчас за ними спецслужбы США будут охотиться???
Вы вообще головой соображаете или как?
Эти твари из НАТО готовы на всё, в том числе на массовые убийства, чтобы лишь приостановить наш взлёт. Теракт в Крокусе - тому доказательство!
США - ОБИТЕЛЬ ЗЛА!
У Дзен аудитория в разы больше
но такая мысль меня тоже посетила, когда читал статью
" И ещё я бы попросил различать сам социальный строй и конкретные реализации социального строя".
Нравится, не нравится - а Путин говорил.
Конкретная реализация социального строя и есть сам строй и различать там, что то могут только додики у которых одновременно существует бесконечное множество реализаций, как в кине.
Спасибо за перепечатку статьи.
ну этот вопрос вы можете задать ему напрямую дзен
Исправился ;)
Никто нам не даст свой литограф сделать в среднесрочной перспективе, а вот взять и забрать силой (победив и отменив санкции. купив у голландцев или японцев) в такой перспективе - вполне возможно.
победив и отменив санкции. купив у голландцев или японцев
отдел фантастики...
Наяву фантастика уже. В ДНР прибивают амерские Абрамсы.
Там до Ростова - плюнуть один раз.
До Волги в 1942 ещё ближе было, а сейчас и время другое
Вот именно - другое.
И по другому может и получиться.
Вы, че, не видите, как они войска свои заводят на б/У?
Точно, как мы в Афган - вначале советники и инженеры с охраной, потом специальные части, а потом 100 000 общевойсковая армия.
Самое главное - не забывайте, что это - перпуг диванной обшивки, а на самом деле каждый день на длинном фронте георически погибает такое же количество русских специалистов, а не обнявшихся перед смертью семей в Крокусе. Не сопротивляющихся нападению.
А сопротивляющиеся все выжили и даже сумки свои поуносили.
Время другое, не сороквторой.
С НАТО на Украине все пойдёт быстрее и злее. Никто уже о мышебратьях при ударах думать не будет. Поэтому истерики мне непонятны. 100000 неприятно, но не более.
И прекратите оффтоп
То, что вы - пукнув в обшивку дивана так се и воображаете все происходящее, так нет проблем.
Больше скажу - твоя голимая рефлекия нахер дядям не нужна.
У них свои разборки под ковром и вы даже не "фон "этого ковра.
Советую еще бахнуть,
Опять хамишь
И твоё нытье тут ни к чему
Больших дядей ты разве что в детском саду видел, когда за другими приходили
Все растут, мальчик, и потом за кем приходили - сами начинают приходить.
Вы такое не забыли уже, а еще не знаете.
Как и то, что хамить малолетнему хамлу - так естесственно для человека.
Спасиьо, как всегда — интересно.
А что с проектированием?
Спросите у автора в Дзен
Проектируй свой задний привод, дилетант.
"вполне возможно" - это если бы несколько лет назад не послали Хуавей с их предложением разрабатывать литограф совместно (предлог был - зачем нам технологии, которые отстают от запада на несколько лет? Купим самое новое в Тайване). Как итог - свой литограф будет лет через 10 (оптимистичный вариант), а у китайцев уже есть свои чипы по технологии 5нм.
Фамилию бы этого "умника"
Небось при Премьере Медведеве все было , с его правительством ТБМ
Страницы