В России начали разработку отечественных литографических сканеров — их производство начнут в 2025–2026 годах

Не в РБ у нас безмасочная фотолитография. Планар же выбран, во многом из-за того, что уже производит фотолитографическое оборудования для "толстых" процессов.

584А  имела малосерийную разновидность с кварцевым объективом пропускавшим до меры в ВУФ можно было на 248/266нм спокойно работать вроде как до 190нм также можно было потянуть. В случае лазерного источника

Я её забирать должен был, приехал на предприятие в конце 1990-х из ФТИ, а за полтора месяца - месяца до меня уже вытащили в Зеленоград объектив. В чистых комнатах полный РАЗГРОМ, пол продал и лишь несколко установок были, одну показали с частичной работе, пнемвостол был в рабочем. По центру можно было бы иметь на оборудовании в ФТИ порядка 200нм разрешение в 1998 году.
Вершиной СССР в СЕРИЙНОЙ продукции был сканнер-степпер на 0,5мкм разрешение которых минимум две машины были на 0,35мкм - как раз 350нм и это 1990 - год в Ленинграде 6 машин стояло. При желании ту же память можно было делать до 250нм даже без двойного экспонирования и ряда ухищрений. В пределе на 6мм квадратике было достижимо 0,15-0,1мкм., этоблизко к тому что лет десять в Зеленограде не могут освоить. Стоять должны были в помещении где стоял электронно-лучевой литограф для изгтовления масок с разрешенем 60нм - был выкинут на степени говтоности 70-75% примерно по требованию Жореса Алфёрова как несвоевременный проект.

Через несколько лет за DVD многослойный и частично защиту формально за НЕ ЕГО а Трифонова гетероструктуры - я его видел, получил нобелевку.
А может и за в т.ч. то что успешно тормозил. Вместе с тем согласен с его словами по части покупки устаревшей зеа лет 5-10 до покупки технологии поликремния и  части малой Эрликона.

Это был банальный вывод средств зарубеж. Кроме химпроцессоров ничего оттуда использовать для СОВРЕМЕННОГО техпроцесса нельзя.

Реальное а не говорящие головы, ВПР Русского сектора является иноагентом и работает на эксплуатацию а затем разрушение страны, уничтожение стараноообразующего русского населения в 20-21вв.

Ситуация похожа на мультяшного зайца, который выслеживать и охотится на зайца помогает охотникам:
 

Я изучил в достаточной дляданнного вывода степени историю технологий за последние 500 лет в России. Со смерти Ивана IV всё покатилось и с Русского сектора наиболее передовые технологии вывозились или им не давали широкого использования, как иначе продать то что было тут изобретено и впервые деланно как продукт ума тех же англосаксов. Ещё и издевались что де русские не могут ПОЛЬЗУЯСЬ без оплаты нашими же изобретениями, убивая таких как Ползунов, Ломоносов, Перский, Щодро-Мордвинов, Филлипов. Я носил очки человека убитого судя по симптомам медленным ядом в конце 1930-х - хорошим Инженером был, съездил в Москву в командировку.

ну почему "нет"?

можно и "да".

но при условии, что завод "Планар" будет расположен в Беларусском (можно и в Западном) федеральном округе.

По стратегии к 30му году. Но вправо наверняка сроки уедут.

Многовато? С чего-то начинать надо. Чтобы получилось достаточно быстро и не слишком дорого. Замахнешься сразу на 7нм и проект можно хоронить не начиная. Для космоса и военки 130-250нм отлично. Остальное со временем.

Самые сложные автомобильные микросхемы в перспективе должны перейти на техпроцесс 7 нм. Но нехватка микрочипов затрагивает техпроцессы 40–180 нм, а также более грубые. При этом основной дефицит приходится на современную полупроводниковую продукцию, которую выпускают по техническим процессам 140 и 180 нм на 200-миллиметровых кремниевых пластинах

К слову - белорусские и российские производители электронных компонентов полностью перекрывают всю потребность российской  и белорусской автопромышленности в комплектующих..

многовато. 

Хотя бы до 20 добили в ближайшем будущем.

честная "гонка нанометров" закончилась где-то между 32 и 24 нм нормами.

все, что "меньше", описывается старинной русской поговоркой: "овчинка выделки не стОит".