Институт прикладной физики РАН создает первый отечественный литограф для производства микроэлектроники по современным техпроцессам.
«Альфа-машина» должна появиться в 2024 году
В Институте прикладной физики Российской академии наук (ИПФ РАН) ведется разработка первой отечественной установки литографии для производства микроэлектроники по современным технологическим процессам.
Сейчас создан демонстрационный образец, который разработчики называют «прототип прототипа». На этой установке получены отдельные изображения на подложках с разрешением до предельных 7 нм. Сейчас в России в промышленных масштабах могут работать с микроструктурами только более 65 нанометров (в основном 90 нм и более). Тем не менее, пока говорить о грандиозном прорыве немного рано, нужно пройти три этапа разработки за 6 лет до появления полноценного промышленного оборудования.
В 2024 году должна быть готова «альфа-машина». Уже с этого момента установка станет рабочим оборудованием и будет рассчитана на проведение полного цикла операций. Однако упор на этом этапе будет сделан не на высокую скорость ее работы или разрешение, а на полноценную реализацию всех систем. Однако и этого должно быть достаточно, чтобы разработка стала привлекательной для инвесторов и фабрик, особенно с учетом конкурентной стоимости самой установки и её обслуживания.
На втором этапе в 2026 году появится «бета-машина». Системы будут улучшены и усложнены, увеличится разрешение, повысится производительность, многие операции будут роботизированы. Установку уже можно будет применять на масштабных производствах, что и будет сделано – на этом рубеже важно интегрировать ее в реальные технологические процессы и отладить, «подтянув» соответствующее оборудование для других этапов производства.
Наконец, на третьем этапе (2026-2028 годы) российский литограф получит более мощный источник излучения, улучшенные системы позиционирования и подачи, станет работать быстро и точно.
Несмотря на то, что отечественный 7-нанометровый техпроцесс будет освоен еще не скоро, работы тянут на настоящую технологическую революцию – со времен СССР в России нет своего литографического производства, а текущий уровень в 65-90 нм достигнут после приобретения уже ненового иностранного оборудования в конце 2000-х годов. Здесь же речь идет именно о разработке своего и, что особенно важно, по оригинальной технологии.
Мировой технологический лидер в литографии компания ASML использует систему EUV-литографии уже около 20 лет. Специалисты отмечают сложность данной технологии плюс большие размеры используемого ультрафиолетового источника излучения. У иностранцев фотолитография заточена под массовое производство очень больших объемов. В России стоит задача не захватить мировой рынок, а первоначально обеспечить запросы своего. Поэтому для российского проекта важно качество. Российские физики уже в этом плане создали демонстратор технологии на другом источнике излучения – рентгеновском. При этом наш источник излучения в разы компактнее и чище в работе, что значительно влияет на стоимость, размеры и сложность оборудования. Оптическая система демонстратора, собранная в ИПФ РАН, уже превосходит все аналоги, существующие в мире на сегодняшний день. А на выходе при равной мощности оборудованию ASML источника излучения российская установка будет в 1,5-2 раза эффективнее того, что создано мировым лидером.
Комментарии
Бесспорно, хороший почин. Но, на мой взгляд с дивана, можно чуть и пошустрее. Не знаю чего там недостаёт, денег или мозгов.
Ну да, что-то типа того. Просто у нас многие почины сидят на недофинансе.
Ладно, это не для спора. Просто тема для страны очень важная, надеюсь всё у наших учёных и инженеров получится. Нам нужен прорыв в этой части.
Это работа уровня 20-25 лет давности. В США этот этап был в 1990-е пройден как и Cymer имел работы по ну как бы лазерному источнику EUV примерно того же периода и то что было ммного хуже того что в СПб планировалось в т.ч. мной иметь - полноценный рентгеновский/EUV лазер на диапазон 1,5-0,1кЭв, что-то было в 1994-1996 придумано мной, старший коллега по-советски смог чот-то сваять, для запитки нескольких литографа хватило бы и гораздо дешевле и компактнее ускорителя и не лампочка, не имеющая узкого спектра и направленности, впрочем дешёвая страх и работающая стабильно, как у томичей. Газовый EUV источник был в рамках проектов МНТЦ готов в 2002-2005гг. РФЯЦ ВНИИЭФ, вторую часть, до того также у них был проект МНТЦ (когда оборонным учёным платили иностранные интересанты вывозя частично результаты работ и главное учёных), платили японцы, я в этом проекте 0991 участвовал как инженер-исследователь штатный и оформлял и рисовал 3D для него за годы до того как он в 2002 конце начался. З/п была ниже чем в 2 раза против оговоренной заранее суммы, притом что япы не 960тыс а 1,5-2млн были готовы платить. Народ поразбежался или работали согласно оплаты - не каждый день.
В 2005 должен был быть стенд 30нм разрешения, а начни в 2002 летом к 2006 имели бы уже нанолитограф, сканнер-степпер 30нм и лучше разрешения. Если бы не были убиты в 1999-2000 двое моих коллег по рентгеновским лазерам можно было иметь бы уже в 2005 5нм на простых рисунках годных для мемристоров, вычислительной оптики фононной и прочего.
Для ряда вещей было бы достаточно многолучевого нанолитографа с контролем волновых фронтов - там картинка в 3D формируется. Впервые в 1999-2000 предложил. Основной свет лазер с накачкой пучками Ar2 126нм, как запасной ArF 192нм. На втором как раз лямбда/60-70 было возможно достигать. С запасом. Японцы попытались из Nikon Precision но они 2-лучевую и прочее применять пытались а там не всё так просто как на первый взгляд кажется. Я предлагал в лоб работу в нашей лаборатории и с ГОИ. Как результат нежелания платить за технологии и оборудование нам - обгадились с F2 (157нм, два пучка или более) и не смогли воспроизвести даже то что было. Нельзя делать этого типа литографами то же что обычными. Это как ствол+патрон, идёт связка той логики физической, что вы задумали с тем технологическим процессом что создаёте.
Результат целенаправленных многодесятилетних действий 5 колонны на уровне лиц принимавших решения в Правительстве РФ отставание более чем на 20 лет. Как минимум с Примакова и далее.
Нету у нас 5-6 лет. Нужно иметь в дронах (подводных наземных, воздушных на орбите) миллионы, десятки миллионов устойчивых много к чему чипов не позднее конца 2025 года. С полной автономностью действий. Иначе в порошок сотрут. Могут и ранее.
Технологии много где применяются и недавняя смерть "астрофизика" - специалиста по матричным рентгеновским детекторам от "шальной пули" возможно при сливе данных Моссаду не была случайной, иногда англичане и часто США спецслужбы жёстко работают. Возможно это чисто война Англии и США за технологическую фенечку. На уровне фирм-конкурентов. Позволяет проводить просвечивающую и в отражённом от спутников свете инспекцию дистанционно а также точную селекцию тяжёлых настоящих и ложных целей - остальные вероятно ещё проще другими фильтруют.
По массовой спутниковой группировке у нас полная ЖОПА была и есть и будет если будут так управлять.
Владик, чего ждешь то? Когда ждать от тебя литограф новый? В железе, чтоб можно было использовать?
Интересно кроме тупого сарказма похвастаться чем-нибудь можете?
могу. Вот дом строю себе... Вадик нас когда порадует своей вундервафией в металле?
Дом это хорошо, но к науке вы никакого отношения не имеете, посему и с проблемами научного и технологического прогресса в нашей стране едва ли знакомы. Скажу одно Россия включается почему то лишь в авральном режиме, когда решается вопрос жизни и смерти, а так множество толковых разработчиков так и не получают возможности реализоваться, что весьма обидно для человека посвятившего этому жизнь.
ды канечно, вы себе не представляете сколько таких тесленко бегает по интернету с момента его появления, выхлоп нулевой... Прожектерство с дивана их все..
Нажрался что-ли, с пятницы на субботу!? То он у него Владик, то Вадик..))
Дом он себе строит, бухать надо меньше, чтобы не мерещилось и на щикутарку хватило ..))
о! "Зафиксированы пересечения по IP адресам: количество подозреваемых - 8" ботки прибежали.. Ты чьих будешь?
Двоится,троится, куда ещё не шло ..но восьмерится!! И с самого утра!!
Завязывай ты это дело, добром оно не кончится))
!?
Он тебе, часом, в папаши не годится!? Владика он себе нашёл..
не годится... Выхлоп от его проджектов какой? Что можно в живую пощупать? Таких тесленко бегает вагон и маленькая тележка крайние лет 10 вы интернете...
О! Вот и многостаночник подтянулся. Куда же без Вас?! На Вас смотрит вся Европа и половина Азии.
Слова "...а затем будем ждать инвесторов"...имхо это оторванность от реальности :)
Логика эффективных менеджеров - если привлечь 9 женщин то можно родить за месяц.
Всегда говорил: приспичит-сделают.
На бумаге, без проблем.
Верящий в иранские беспилотники? Сочуствую, но не разделяю.
Эти беспилотники примитивная туфта поставлена на промышленное производство за 10 лет. Такие в гаражах делают, а то что государство по каким-то причинам клала болт...
Ну, Негода и движки реактивные сам делает. Самородок. Таких немного. Это не значит, что каждый встречный и поперечный сможет это в своей домашней мастерской настрогать.
У этого "самородка" слишком много свободного времени ))) Для настоящего самородка он местами технически безграмотен. Расчётами и измерениями вообще не заморачивается. Через это фак-апы бывают регулярно. Но наблюдать прикольно, да.
А вы не подумали, что расчёты и измерения это крайне нудно и просто не катят для формата, а фак-апы наоборот наблюдать прикольно. Советский гараж это же не промышленное производство где фак-апы и дедлайны как-то на что-то влияют.
Не, ну можно конечно найти теорию заговора и тут. Я бы сам её поддержал и поверил бы в хитрый план автора канала, но результат, как говорится, на лицо. План, видимо, совсем хитрый.
Есть у меня знакомый из института ядерной физики, что в Новосибирске. В марте-апреле его и целый вагон его коллег вывезли в Зеленоград знакомиться с постановкой задачи в области разработки российской электроники. Я еще тогда подумал - нихрена как быстро то зашевелились. Вот что значит приспичило. И тут на днях в бане пересекаемся. У меня первый вопрос - ну как? Да никак - еще финансирование пока не выделили. Не приспичило, аднако...
Если в деле замешана наша окодемия науг то шансов ноль
Ога!)))) Да им на первом же инструктаже под роспись сообщили именно это и отвечать на все вопросы вопрошающих. Если бы я руководил проектом, именно с такого инструктажа я бы и начал. "А что на самом деле подумал Мудрый Кролик, так никто и не узнал, потому что Кролик на самом деле был мудрым" (ц).
При усложнении ситуации на военно-международном фронте следует вообще возвращаться к практике "шараг" : во-первых для защиты мозгов от уничтожения противником, во-вторых для обеспечения мозгам максимальной близости к производству, вплоть до кровати рядом с кульманом или токарным станком.
С одной стороны, как сделают, так и статью надо писать. Не раньше.
С другой, сильно важная штука, держим кулаки, чтоб получилось.
К сожалению моему, не верю.
Интересно, по хайпожору Маску ты такого же мнения?
На хер сходи. Тон твой мне не нравится.
А тут или сможем, или в могилу.
не... такие размеры ни в военке ни в космосе не нужны... в космос меньше 100 и не летало никогда, або помехи... а военке тоже как то безразлично... вот для внутрених критичных сетей, энергетика, паспорта - это да нужно, но тоже не так критично, мипсы можно и большими делать.
Да, тяжелому иону без разницы что один нм, что один мкм, прошибёт к .... Радиостойкость это специальные алгоритмы, а не техпроцессы. Используют тонкие и передовые техпроцессы и в военке и в космосе. Байка про радиостойкость толстых техпроцессов, это самоуспокоение.
Я уже не говорю про силоау, что сейчас стремительно перекатывается с 90 нм до 45, и останавливаться не собирается.
Это не размеры, а точность литографии. Имея оборудование с такими возможностями, можно производить изделия любого назначения, притом с повышенным выходом годных.
ну да если вы можете делать транзистор меньше, вы его не делает. бр...
гонка за размером транзистора это гонка тепло и скорость, для милитари и космоса врядли хорошие ориентиры.
Разумеется. От размеров всяких затворов, каналов, объемных зарядов зависит не только энергия и скорость переключения между состояниями, но и помехоустойчивость, радиационная стойкость, диапазон рабочих температур. Именно они определяют топологию микросхем военного и космического применения.
Однако, возможность производить изделия по высоким нормам разрешения в России должна быть обеспечена на собственной технологической базе, поскольку микросхемы широкого применения нужны для всего спектра оборудования в госсекторе, в промышленности, в системах связи.
В новых реалиях целесообразно, вероятно, не гнаться за производительностью ради цены массовой серии, а стремиться к гибкости и минимальной цене подготовки производства малых и средних серий для внутреннего применения. Что-то типа 3D-принтера как альтернативы литью на конвейере.
Россия сможет,не сомневаюсь.Только надо правильно простимулировать.Удачи
Слово РАН давно стало матерным
Так что не верю, скорее всего сделают быстрее и в другом месте
Вспомните как ВВП предлагал уйти тем чиновникам для кого научная деятельность важнее-понапокупали степень,попримазывались к другим и тд
А куда им идти? В голод и холод? Они ж ничего другого делать не умеют, так и будут сидеть кровососами, пока не сковырнут или пока организм не сдохнет.
это хорошо. напрашивается следующий логически обоснованый вопрос: а что с продолжением технологической цепочки? литограф, это только 1ый шаг в цепочке физического производства процессоров (ну, мы пока сознательно вычеркиваем этап разработки самого процессора - предположим, что мы все пересядем на эльбрус или дождемся(если дождемся) массовых и нормальных российских riscv). Имея литограф, нужна, собственно, фабрика по производству этого дела (и мильен смежных вещей).
Хотя литограф, конечно, это очень важный пункт. Это радует.
Не дай то Бог.. За протаскивание Эльбруса в "гражданский" сектор, надо - "по законам военного времени" - сразу к стенке. Мертворожденное говно, на которое потрачено время, деньги, и которое все равно останется мёртвым.
? по шо так? да не быстрое но вполне работает и даже эмулит сферически вакумный х86 х64
строго по книжке, без
Потому что - "бульон надо хлебать ложкой, а не вилкой". Вот это вот - "не быстрое но вполне работает и даже эмулит сферически вакумный х86 х64" - это изначальный "костыль". Оно изначально в экосистеме (а правильнее сказать во вселенной) x86 - хуже, и лучше по определению не будет. Тогда зачем?? Чтобы "допиливая" это, на десятилетия присосаться к гос.кормушке? При этом оттягивая и финансовые и людские ресурсы на заведомо тупиковую ветку развития?
Так это называется - вредительство и саботаж.
одномоментно заместить всю экосреду x86 х64 круто но не реально...
А других архитектур, простите, не подвезли? Тот же mips64 можно взять - дешево и сердито. И о патчах для сборки кучи софта голова не болит.
А вот и нет.
«Эльбрусы» появились еще в далекие 70-е и использовались в РЛС и системах ПРО.
Так что не метворожденное и не дерьмо, ибо наши комплексы - самые комплексы.
Там другая была архитектура. Разговор за VLIW архитектуру, которая не подходит для универсально проца. Байкал тут лучше будет. Да и вообще пора делать проц на RISC-V.
почему не мипс - ? частотка вдвое и открытое...
Страницы