Резиденты особой экономической зоны «Технополис Москва» и ученые Национального исследовательского университета «МИЭТ» проводят исследования для создания установки, которая позволит печатать микросхемы размером от 28 нанометров и ниже, востребованным в современной микроэлектронике.
Об этом сообщил руководитель Департамента инвестиционной и промышленной политики, входящего в Комплекс экономической политики и имущественно-земельных отношений столицы, Владислав Овчинский.
«Резиденты ОЭЗ Москвы участвуют в проекте по созданию технологии и разработке установки-литографа – уникального оборудования для производства микросхем. Научные работы по проекту проходят на базе НИУ МИЭТ при участии резидента столичного технополиса. Производственные мощности кластера микроэлектроники столичной ОЭЗ будут задействованы для изготовления необходимых проекту образцов», ̶ сказал Владислав Овчинский.
Установка сможет использоваться для производства чипов топологических размеров от 28 нанометров и ниже на базе российских синхротронов и плазменных источников излучения. Ученые МИЭТ в кооперации с резидентами ОЭЗ Москвы сегодня изучают возможность реализации технологии.
По словам проректора по научной работе МИЭТ Сергея Гаврилова, если эта работа завершится успешно, за ней последует опытно-конструкторский проект по созданию литографической установки.
Значит выбрали вот эту схему.
Наверно будут делать на базе уже существующего в Зеленограде синхротрона. Всё равно он больше никому и не нужен.
Комментарии
Наконец-то.
Ага. Лет 15 уже этой идее. Скажем спасибо пресвятой СВО.
А я говорил что после СВО будут устранены искусственные ограничения сдерживающие развитие России
Пока ещё много их.
Пока - да, но маленький ручеёк превратится в мощный поток и снесёт плотину!
Эх как поэтично
В каждой шутке, есть доля правды. ВИС - Вакуумные Интегральные Схемы, вполне реальны.
Но к сожалению, есть ряд не решённых технических проблем. Например, с автоэлектронной эмиссией.
На этой "проблеме", например, работали экспериментальные вакуумно-люминесцентные панели, когда про модные ныне TFT никто и слыхом не слыхивал.
Да, было дело. SED-дисплеи вплоть до 2010хх делали.
Да, подобные технологии ещё в 90х разрабатывали. Не знаю как сейчас обстоят дела
ну тут вы спешите , искусственное сдерживание удачно осуществлялось в ссср ,
все нужные люди наверняка все на тех же местах принятия решений
В СССР это как раз плохо получалось но в одном Вы правы главнейшей победой запада является привитие трудящимся наплевательского отношение к Культуре Производства.
Это тут не при чём. В СССР было имбецильное лобби интеграции в Святой Запад, которое свернуло 15 различных программ по всей стране по разработке микроэлектроники и объявило, что будут копировать архитектуру IBM. Вот это и был финалес вагиналес отечественной микроэлектронике. И у этого есть Ф.И.О.
Больше. На моей памяти, это начиналось ещё в конце 80-х в целях субмикрона. Только, МЕМСов тогда ещё не было, а были никелевые отражающие фотошаблоны.
Впервые слышу. Думал идею с ускорителем придумали в Японии, то ли в 86том, то ли в 85том.
Это проходило по закрытым темам. 0,6 мкм, когда в Интеле гнали 2.
Синхротрон в Зеленограде в не очень в дееспособнобном состоянии находится.
А он еще в Зеленограде? Ковальчук ведь собирался перенести его на остров Русский.
Поясните несведущим, речь идет о электронно-лучевой литографии?
Нет. Электроны тут просто источник рентгеновского излучения.
Найн. Речь идёт о фотолитографии с отражающими динамическими фотошаблонами в диапазоне вакуумного ультрафиолета и выше.
МРТ меняется на наших глазах
Схема годится для распределённого метода производства ограниченных серий.
При многолучевой схеме, что сам разработал в 1998-2002, разрешение может превышать несколько нанометров с неровностью края 1-2 нм.
Тут не электронная литография, а EUV. Синхротрон тут только как источник излучения. Для электронной литографии достаточно обычной электронной пушки.
Я электронным пучком не пользуюсь принципиально ни в одной из разработок. Дело в том что он даёт большое число плохо контролируемых в отличие от МРИ и ЭУФ дефектов которые полностью потом не отжечь. Это если полупроводники. Если любимая пара диэлектрик-сверхпроводник ещё жёстче.
Здесь даже не ЕУВ, а круче.
Проблемка в монохромации, которая даёт куда лучшее разрешение. К сож, синхротронное излучение белое.
Куда лучше было бы лазерное на свободных электронах.
Ну EUV без фотошаблона. В ОЭЗ Технополис Москва есть такая вот контора, ООО Маппер.
Делают они вот это.
Это именно то, что надо. Мало кто из местных камрадов это даже видел. Тем более, понимает, как оно и зачем.
Если будет работать то размоет на 30нм. Так что может сработать.
Я планировал несколько иную схему масок. Такие позволяют иметь миллиард условных лоигческих элементов за одну литографию - истинно планарная логика, к слову Русские придумали с прочими и французы реализовали в 1990-х на макетных объектах. И никакого питания кроме как излучением. Тем более омических контактов.
Да, безусловно. Но ЛСЭ надо ещё жеж построить, а синхротрон вот он уже стоит. Никому не нужный.
Драть-колотить!
А как связан лазер и электроны?
Хоть тут умища наберусь -- буду потом перед всеми выпендриваца про свободные электроны в лазере ...
Ищи слово "ондулятор".
Бульбулятор жеж.
Это из другой темы, но тоже очень познавательно!
Попрошу мой ник не коверкать!))
Есть такое понятие лазер на свободных электронах. Использует излучение, вызванное торможением электронов.
https://ru.m.wikipedia.org/wiki/%D0%9B%D0%B0%D0%B7%D0%B5%D1%80_%D0%BD%D0%B0_%D1%81%D0%B2%D0%BE%D0%B1%D0%BE%D0%B4%D0%BD%D1%8B%D1%85_%D1%8D%D0%BB%D0%B5%D0%BA%D1%82%D1%80%D0%BE%D0%BD%D0%B0%D1%85
Вообще то любой лазер это электроны))
только обычно это связанные электроны в атомах, но бывают и свободные в пучке... ну и механизм излучения немного разный
Сильно отличный.
Если бы поменьше читали помойки вроде Уики, то знали бы, что лазер это фотоны. Любой энергетики, а если речь идёт о фермионах, то это уже даже принцип другой.
Есть например мазеры.
Употребительно к фермионам используется термин пушка.
Протонная, электронная, ионная.
Такшта ниннада болтать эрундой.
пажалусто
Если бы вы понимали о чём речь, то не насмешили бы меня)))
Эх, электроны там только источник фотончиков, ускоренные лепестрончики попадают в ондулятор.
А уж почему ускоренный электрон излучает, сам должен догадаться.
Чё бл.? Электрон излучает при торможении, а не когда он просто ускоренный!
То. Любой ускоренный заряд излучает.
Ац-цтавить драццо! Ускорение есть отрицательное торможение и наоборот!
Ну вообще-то ускорение, это векторная величина. Знак зависит от направления. Это просто стыдно не знать, на что я и намекнул Werom.
Ну дык и я об чём...
Если мне память не изменяет, то краткая (суперкраткая, но понятная) теория лазеров на свободных электронах описана в книге академикв Велихова: "СОИ. Дилемма безопасности".
Я ничего против синхротрона не имею - там хоть какая-то направленность и монохроматичность.
Свободные электроны к ввозу в Россию зопрещены!
Вы серьёзно хотите с ним дискутировать?
"Румата в приятных выражениях согласился с этим мнением и в ответ рассказал только что выдуманную историю о том, как на дона Рэбу напали двенадцать разбойников, троих он уложил на месте, а остальных обратил в бегство. История была выслушана с большим интересом и одобрением, после чего Румата как бы случайно заметил, что историю эту рассказал ему дон Сэра. Выражение интереса немедленно исчезло с лиц присутствующих, ибо каждому было известно, что дон Сэра — знаменитый дурак и враль."
Под Новосибирском синхротрон строится.
Страницы