Технология, которая подвинет голландскую компанию ASML: в России началась разработка безмасочного фотолитографа для норм 28 нм

Аватар пользователя absaute

 

65% всех современных процессоров производится на фотолитографических сканерах нидерландской компании ASML. Разработка таких технологий с нуля — это миллиарды долларов. Поэтому такие известные производители, как Intel и AMD, предпочитали инвестировать в технологии голландцев. Однако российские ученые намерены «разбить» монополию ASMLithography. Как именно, расскажем далее.

Project SFERA Live — Подписывайтесь...

Что придумали российские ученые

Стоимость литографа — выше $300 млн. Чем меньше техпроцесс (а сейчас уже используются 7 нм, 6 нм), тем он дороже. 

Для работы фотолитографу нужны маски, так называемые шаблоны, по которым переносится рисунок. Такой шаблон делается под каждую новое поколение, то есть для core i7 3770 — одна маска, а для  core i7 4770 — другая.

В Московском институте электронной техники (МИЭТ) разрабатывают концепцию рентген-литографа, для которого маски (как отдельная деталь) не нужны. Весь рисунок, который представляет собой цифровое изображение, проектируется на микрооптическую систему (МОЭМС), по сути, на микроэкран. При этом оборудование поддерживает техпроцесс 28 нм и менее, вплоть до 10.

 

Project SFERA Live — Поставьте лайк...

Теория или реальность

МИЭТ, основываясь на российских разработках, получил госконтракт стоимостью 670 млн рублей на создание технологии и макетов масок, техзадание и техническо-экономическое обоснование первого образца литографа. Все работы планируют завершить в ноябре этого года. То есть к созданию опытного образца, возможно, приступят уже в начале 2023 года. Промышленный выпуск, по прогнозам, начнется примерно через 5 лет.

В проекте будут использованы теоретические наработки и оборудование многих НИИ и КБ. В частности, зеленоградской компании «ЭСТО», ТНК «Зеленоград», НИЦ «Курчатовский институт», филиала Института прикладной физики РАН в Нижнем Новгороде, Института спектроскопии РАН в Троицке.

Отмечается, что такие литографические сканеры будут в несколько раз дешевле тех, что используют излучение с длиной волны 193 нм (глубокий ультрафиолет). А они в свою очередь в несколько раз дешевле наиболее современных, использующих жёсткий ультрафиолет.

Project SFERA Live

И это не учитывая, что скорость работы у безмасочных многолучевых сканеров будет в несколько раз выше. Подробнее о технологии и устройстве мы писали здесь.

Если российские учёные успешно завершат разработку, то голландскую компанию ждет бесславный конец.

Экономические перспективы

Исследования по созданию безмасочного фотолитографа велись с 2010 года. Значит, успех вполне вероятен. Аналогов российской технологии нет. Она действительно может перевернуть представление о производстве микропроцессоров, так как удешевляет весь процесс. 

Project SFERA Live — Подписывайтесь...

В нынешних условиях экономически выгоден масштабный выпуск чипов. Безмасочный литограф позволит создавать востребованные узкопрофильные и специализированные процессоры. Весьма оптимистичные прогнозы. Как думаете, насколько они реальны?

Автор:

Максим Демченко

Авторство: 
Копия чужих материалов

Комментарии

Аватар пользователя ИриС
ИриС(9 лет 11 месяцев)

smile9.gif

Аватар пользователя termit
termit(2 года 10 месяцев)

Гиперзвук сделали, космический буксир, ледоколы да много чего, что какой-то литограф не оформят!? smile11.gif

Аватар пользователя ВладиславЛ

Статья копирует и частично развивает тематику в февральской статье https://aftershock.news/?q=node/1070643&page=1

Туда и написал.

Комментарий администрации:  
***отключен (антигосударственная пропаганда, систематические набросы) ***
Аватар пользователя Николаев Александр

.... Литограф, мягко скажем, не какой-то там. Одна из сложнейших в истории техники машинка. Особенно фотошаблонный. 

Аватар пользователя Судья Сухов
Судья Сухов(9 лет 7 месяцев)

это, часом, не развитие технологии муссируемой в свое время под названием "Линза Кумахова"?

Аватар пользователя Николаев Александр

Нет. Принцип совсем иной.

Вот так работает обычная фотолитография.

А вот так, то что предложили наши кулибины.

Изображение формируется чипом МОЭМС ( микро оптическая электро механическая система ) По сути механизмом микронного размера с зеркалами.

Выглядит это примерно так

Кстати есть и немного альтернативная схема.

С ускорителем частиц.

Вообщем, прочтите данный материал

Аватар пользователя Судья Сухов
Судья Сухов(9 лет 7 месяцев)

Спасибо, почитаю.

Аватар пользователя Судья Сухов
Судья Сухов(9 лет 7 месяцев)

а про "Линзу Кумахова" что скажете?
Лажа, или же имеет право на жизнь?

Аватар пользователя Николаев Александр

Рентгеновские поликапиллярные линзы вполне реальны. Я так полагаю линзе Кумахова плохой имидж сделал пиар со стороны некоего Максима Калашникова)))

Технология уже давно утекла на запад вот например 

Ну и в целом по рентгеновской оптике можно почитать вот это , вот это

Аватар пользователя Segart
Segart(12 лет 2 месяца)

Достаточно одного кинжала в асмл, чтобы ввергнуть запад во тьму. 

Аватар пользователя Николаев Александр

Фотолитографы могут и после бесславной кончины ASML работать десятилетиями. Да и не один завод это.

Аватар пользователя hardknap
hardknap(12 лет 1 месяц)

Не могут. Что за бредовое утверждение? Там порядка сотни тысяч деталей и узлов. Всё постоянно ломается. Куча расходников, которе только на ASML могут создавать. Не врите.

Аватар пользователя Николаев Александр

У ASML 6000 поставщиков, смекаете)))

Аватар пользователя Телеграфист
Телеграфист(11 лет 9 месяцев)

И все 5999 поставщиков готовы выпускать любую произвольную деталь, которую не сможет поставлять один из них?

Скорее, отвал одного поставщика из 6000 остановит все. Потому что без го детали, которую никто в мире больше не выпускает, не смогут выпускаться и все степплеры.

Комментарий администрации:  
*** Количество взбешенных собянинским беспределом растет в геометрической прогрессии (с) ***
Аватар пользователя Николаев Александр

Так вопрос то был не про выпуск, а про зип.

Аватар пользователя hardknap
hardknap(12 лет 1 месяц)

Интегрировать это всё знает как и умеет только одна эта фирма. По паре человек на каждую оперцию во всём мире.

Аватар пользователя Писатель
Писатель(6 лет 7 месяцев)

Ой, таки не говорите гоп, пока не перепрыгнули...

Сейчас работает электронно-лучевая литография. Но у неё крайне низкая произврдительность.

В обсчем - посмотрим, что получиться, когда получится.

Комментарий администрации:  
*** Уличен в сочинении псевдостатистической дезы - https://aftershock.news/?q=comment/11334142#comment-11334142 ***
Аватар пользователя Ден_Боб
Ден_Боб(4 года 3 месяца)

ну если это реально , то центр производства ппроводников переиестится с тайваня

Аватар пользователя Николаев Александр

Не думаю. Но многие страны находящиеся под санкциями захотят получить суверенную микроэлектронику. 

Аватар пользователя Antropomorf
Antropomorf(10 лет 9 месяцев)

пару недель назад обсуждали вот здесь

Аватар пользователя Здешний
Здешний(10 лет 5 месяцев)

Тема рентгенолитографии не новая, про наши наработки давно озвучено. Если взялись за реализацию, молодцы. Тут ведь даже не в себестоимости или коммерческом успехе дело. 

Но как слишком часто случается, опять журналиста изнасиловали. Какая-то инфокаша. Пишут, что технология безмасочная, и тут же - МИЭТ "получил госконтракт стоимостью 670 млн рублей на создание технологии и макетов масок, техзадание и техническо-​экономическое обоснование первого образца литографа".

Кто это пишет, кто это редактирует?   

Аватар пользователя verner
verner(9 лет 3 месяца)

Статью пишет человек совершенно не понимающий технологию безмасочного рентгеновского производства микросхем.

Аватар пользователя mse
mse(7 лет 5 месяцев)

Всё правильно пишет. Таким литографом заманаешься делать чип. Он 200мм вафлю будет неделю засвечивать. И это, только один слой. А вот фотошаблон делать для масочной технологии, в самый раз.

Аватар пользователя Николаев Александр

Фотошаблоны делают электронными безмасочными литографами... Суть-то в том, что и на DUV фотолитографе можно получить 7 нм, просто нужно многократно экспонировать через ряд совмещённых масок. + ещё пару хитростей, вроде иммерсионной жидкости и т.д.

Но это всё уходит в прошлое с появлением EUV фотолитографии, а потом и BEUV. Полноценный EUV фотолитограф никогда не окупится при наших потребностях в чипах, и дело тут не в фотошаблонах. Потому и пилится безмасочный EUV.

Аватар пользователя Above_name
Above_name(12 лет 1 неделя)

"Полноценный EUV фотолитограф никогда не окупится при наших потребностях в чипах, и дело тут не в фотошаблонах."

Не понимаю почему в окупится для уникального прибора в наст.условиях должны включаться стоимость разработки и его изготовления?

ИМХО пусть лишь планово частично окупится и должен быть безубыточным в работе. Миллиарды из ЗВР пока похерены и ..?

Аватар пользователя Николаев Александр

Не понимаю почему в окупится для уникального прибора в наст.условиях должны включаться стоимость разработки и его изготовления?

Наверно потому, что это дикая стоимость. EUV фотолитограф ASML стоит 300 миллионов евро, или около того. На одной фабрике их десятки, смекаете масштаб вложений? Это не считая стоимости НИОКР. Делать EUV фотолитограф как у ASML лет 20, потом нужно их произвести штук 50. При том многие детали тупо не производятся у нас. Значит надо ставить предприятия, что будут делать требуемые детали. Это тоже вложения, зачастую огромные. Если посчитать всё цепочку то это сотни миллиардов, реальных а не бумажных.

Нам нужно не одну установку произвести, нам нужно десятки, сотни отраслей создавать. 

Потому и пилим безфотошаблонный фотолитограф. Это обходной путь, не требующий столь диких вложений. Ну а DUV и вовсе можно было запилить лет как 10 уже.

ИМХО пусть лишь планово частично окупится и должен быть безубыточным в работе. Миллиарды из ЗВР пока похерены и ..?

ЗВР это отдельный вопрос. А то что вы предложили, это банальное разбазаривание.

Аватар пользователя mse
mse(7 лет 5 месяцев)

Бесшаблонным вы одну литографию на 200мм, будете делать месяц. А таких литографий, для производства чипа, нужно под сотню.

Аватар пользователя Телеграфист
Телеграфист(11 лет 9 месяцев)

Неделя на засветку 200 мм пластины это электронно-лучевая технология с одним лучом. Очень дешево для единичных образцов и очень медленно и дорого для серии. 

Но, во-первых, имеет свой рынок, чипсет для какого нибудь ГЛОНАССА точно не нужен в миллионных партиях, там весь набор микросхем на 20 лет запусков можно с одной пластины получить.

Во-вторых, очень долго это одним лучом засвечивать, с минимальной толщиной. Лучей может быть и несколько, а можно сделать апертуру со стандартными элементами топологии, по типу характрона, и рисовать значительно быстрее. Реальные элементы топологии никогда не бывают размером с разрешающую способность, а засвечивать квадратиками и кружечками разнообразного размера гораздо быстрее. Раньше так все фотоплоттеры работали.

Ну, и в-третьих, речь все же идет о безмасочной ренгеновской ФЛ. А там "фотошаблон" в виде МЭМС с размером 100х100 элементов все же есть. А засвечивать сразу 10 000 точек как бы намного быстрее, чем каждую индивидуально.

Комментарий администрации:  
*** Количество взбешенных собянинским беспределом растет в геометрической прогрессии (с) ***
Аватар пользователя Телеграфист
Телеграфист(11 лет 9 месяцев)

МИЭТ получил финансирование и на безмасочную ФЛ на мелкие нанометры, и на масочную, сначала на 350 нм (она в Беларуси, фактически есть), а затем и на 180 нм. 

Маски для масочной ФЛ, кстати, делаютя как раз по безмасочной технологии.

Комментарий администрации:  
*** Количество взбешенных собянинским беспределом растет в геометрической прогрессии (с) ***
Аватар пользователя Николаев Александр

сначала на 350 нм (она в Беларуси, фактически есть)

Если про планар, то их генераторы изображений насколько мне известно безфотошаблонные.

Аватар пользователя Телеграфист
Телеграфист(11 лет 9 месяцев)

Не знал. Ну, значит, речь идет об создании собственного производства масок.

Комментарий администрации:  
*** Количество взбешенных собянинским беспределом растет в геометрической прогрессии (с) ***
Аватар пользователя Chupak
Chupak(9 лет 11 месяцев)

Меня только смущает финансирование 670 млн, что-то это до неприличия крохоная сумма, по цене одной многоэтажки в Подмосковье. 

Аватар пользователя Sabotender
Sabotender(9 лет 11 месяцев)

ну наверное за 1ый опытный... если будет работать, то дальше пойдут вливания.

Аватар пользователя Hrom48
Hrom48(6 лет 9 месяцев)

Исходя из имеющейся открытой информации, эти 670 млн. вообще не про создание какого-то действующего образца, это скорее про подготовку к полноценным НИОКР по разработке такого образца. Т.е. сейчас систематизируют имеющиеся наработки по данной тематике; проведут какие-то дополнительные эксперименты, для уточнения важных параметров технологии; оценят имеющиеся производственные и технологические возможности, возможные проблемы и т.д. На основе этих данных напишут тех.задание и определятся с общей концепцией будущей установки. А уже после этого, заключат новый контракт, с совершенно другим уровнем финансирования, соответственно тогда же и начнутся непосредственные работы по разработке действующего опытного образца.

Аватар пользователя СибВатник
СибВатник(8 лет 2 месяца)

Это на разработку ТЗ, ТЭО, теоретическую проработку, макет. Под это - вполне достаточно, тем более все это не с 0. А воплощение в "железо" это следующий этап. 

Аватар пользователя Маленький Ли
Маленький Ли(6 лет 8 месяцев)

Главное, у кого такое производство в скорости останется. Получается у нас будет, у китайцев наверно, а у европы и америки может и не быть. Тем более дикая производительность процессоров в принципе уже будет не важна, как и расход энергии, главное чтоб ракета могла и терминатор слушался.

Аватар пользователя Валерий П
Валерий П(3 года 11 месяцев)

В успех проекта не верится. Кто ж им денег даст на успешный проект? А на общественных началах, как у нас денежки на лечение больных собирают, такие проекты нельзя профинансировать. И, кстати, кто сказал, что даже если будет много денег, то результат будет нормальный? Хитроумные чиновники от науки и техники обычно замечательно умеют щеки надувать и выбивать денежки из казны на изучение прыщей на заднице гориллы.

Аватар пользователя iron_kolobok
iron_kolobok(10 лет 6 месяцев)

В успех проекта не верится.

Кац предлагает сдаться? 

Аватар пользователя Николаев Александр

Скорее встать раком.

Аватар пользователя Командир
Командир(9 лет 1 месяц)

В успех проекта не верится. Кто ж им денег даст на успешный проект?

Берии на них нет!?

Аватар пользователя Assert
Assert(9 лет 4 недели)

Опять это фуфло сюда притащили. На этой теме Чубайс ещё лет 10 назад парился, хорошо помню. Там уже "вот-вот" производство было. Оказалось, что есть проблемы. Вот когда будут выпускать готовые пластины, тогда и надо чепчики кидать вверх. Пока история распил больше 10 лет... 

Аватар пользователя Dozor-SPb
Dozor-SPb(8 лет 7 месяцев)

Фуфло - ты еще живо? Странно!

Комментарий администрации:  
*** отключен (невмненяемое общение) ***
Аватар пользователя laserbeam
laserbeam(5 лет 6 месяцев)

Вы на досуге, поинтересуйтесь, почему ASML сейчас на коне. Они пилили лет 15, казалось бы бесперспективную тематику.

Аватар пользователя Николаев Александр

Они и до этого на коне были. 

Аватар пользователя БМВ
БМВ(5 лет 6 месяцев)

Поживем увидим как понимаю не долго осталось 

Аватар пользователя dmikar
dmikar(10 лет 2 дня)

То есть 28нм технологию 5-летней давности освоят через 5 лет и при этом, как авто пишет -  "голландскую компанию ждет бесславный конец". Я ничего не перепутал?

Аватар пользователя temnoeplamaj
temnoeplamaj(5 лет 8 месяцев)

Перепутал, Пперепутал! Читай внимательнее материал.

Комментарий администрации:  
*** отключен (набросы, паникерство) ***
Аватар пользователя Телеграфист
Телеграфист(11 лет 9 месяцев)

Китайцы (SMIC) отказались делать 14 нм. Потому что это не окупается. В ноль ныходят только первые 1-2 фабрики, которые окупают затраты за счет гламурного хайпа. Все, кто приходит следом, работают в убыток. Рост стоимости оборудования опережает выгоду от его использования.

При этом, вся промышленность, телеком, медицина живет на 45 нм и больше, и никуда переходить не собирается.

Большинство всех современных чипов выпускается по технологии 90-120 нм.

Комментарий администрации:  
*** Количество взбешенных собянинским беспределом растет в геометрической прогрессии (с) ***
Аватар пользователя ВладимирХ
ВладимирХ(11 лет 11 месяцев)

И это не учитывая, что скорость работы у безмасочных многолучевых сканеров будет в несколько раз выше.

Здесь вранье, насколько понимаю. Метод более, чем на порядок, медленнее, но намного гибче.

Хотя, возможно, это другой метод. Ранее читал об электронной многолучевой литографии.

Аватар пользователя Er0p
Er0p(9 лет 7 месяцев)

Пилил 193 по глазам. Под лучом испарение дичайшее идёт, оно же луч поглощает. с глаза хотя бы можно сдуть, а вот в вакууме - хз как решают, но скорость упирается в кучу проблем.

Страницы