НИР «Разработка установки безмасочной рентгеновской нанолитографии на основе МЭМС динамической маски для формирования наноструктур с размерами от 13 нм и ниже

Аватар пользователя e-Jinn

https://www.roseltorg.ru/procedure/0173100009521000167

Наименование процедуры

НИР «Разработка установки безмасочной рентгеновской нанолитографии на основе МЭМС динамической маски для формирования наноструктур с размерами от 13 нм и ниже на базе синхротронного и/или плазменного источника», шифр «Рентген-Литограф»

Организатор МИНИСТЕРСТВО ПРОМЫШЛЕННОСТИ И ТОРГОВЛИ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ (ИНН 7705596339)

Способ проведения Открытый конкурс в электронной форме

 

Кто-нибудь может прокомментировать насколько это серьёзно? 

Авторство: 
Копия чужих материалов
Комментарий автора: 

Предыдущая работа

"Разработка источника мягкого рентгеновского излучения на основе матрицы микрофокусных рентгеновских трубок для безмасочного литографа с разрешением лучше 10 нм"

была выполнена  "Национальный исследовательский университет "Московский институт электронной техники" (МИЭТ) в 2017-2020гг.

Предположительно этот же институт будет работать и по новой теме

Комментарии

Аватар пользователя Малый Евген
Малый Евген(12 лет 3 месяца)

Кто-​нибудь может прокомментировать насколько это серьёзно? 

Зовите ВладиславЛа.

Скрытый комментарий SaloOAKy (c обсуждением)
Аватар пользователя SaloOAKy
SaloOAKy(10 лет 9 месяцев)

Он не придёт. Он может спамить кучей ссылок, вставлять кучу умных слов, говорить что занимался этим и знает светил научных по этим направляенияи. Но по факту он сам почтил, он кандидат философских наук, диплом казахский у него. И что философ может знать о нанолитогоафии ?

Аватар пользователя Simurg
Simurg(9 лет 4 недели)

Не в защиту конкретно Владислава :), но вообще, должно стыдно быть столь безграмотным. Это всё равно, что назвать его медиком, потому что он "доктор"

PhD - это не "доктор философских наук", а высшая научная степень в болонской системе, примерно равная советскому/российскому кандидату. PhD может быть в физике, в математике, в филологии, в инженерии.

"Philosophy" в philosophy doctor тут в изначальном греческом значении - "любящий знания" в такой-то области.

Комментарий администрации:  
*** Уличен в клевете и ложном цитировании, отказ принести извинения - https://aftershock.news/?q=comment/11527284#comment-11527284 ***
Аватар пользователя SaloOAKy
SaloOAKy(10 лет 9 месяцев)

Вы бы хоть изучили как это в России. Балакавриат, специалитет, магистратура, аспирантура, доктарунтура. 

Аватар пользователя Simurg
Simurg(9 лет 4 недели)

Я знаю, как это в России, - помесь болонской системы со своим родным. :)

Но я не понял, к чему было это возражение(?)? Вы не согласны с тем, что кандидат ~= PhD? или с чем? почему Вы думаете, что мне нужно что-то "изучить"?

Комментарий администрации:  
*** Уличен в клевете и ложном цитировании, отказ принести извинения - https://aftershock.news/?q=comment/11527284#comment-11527284 ***
Аватар пользователя SaloOAKy
SaloOAKy(10 лет 9 месяцев)

Если написано к.ф.н. То наверно вряд ли человек занимается дронами и литографией. Потому как по возрасту Владислав защищал свою кандидатскую то ли в конце 80-х, то ли в начале 90-х. Причём тут новвя Болонский система и звание доктор философии я?

Аватар пользователя Simurg
Simurg(9 лет 4 недели)

Это кандидат физических наук. Где-то он утверждал, что у него PhD.

Физическое образование он имеет. 100%. Как минимум, профильный ВУЗ. Это совершенно точно, по тексту видно.

В отличие от многих других местных шизофреников, даже когда он несёт бред с манией величия, у него концы с концами сходятся, и он не выходит за рамки физически реального (бредятина про рептилоидов и гаплогруппы - оно да, но это не про физику). Совершенно точно, что физику он учил не в школе и не сводный курс в заборостроительном.

Комментарий администрации:  
*** Уличен в клевете и ложном цитировании, отказ принести извинения - https://aftershock.news/?q=comment/11527284#comment-11527284 ***
Аватар пользователя johnsib
johnsib(14 лет 2 месяца)

так с 2001 года работа ведется..

— И какой же выход вы нашли?

— Столкнувшись со всеми эти фактами, я тогда впервые подумал: а зачем вообще использовать проекционный метод, раз при проекции вы неизбежно передаете все дефекты с маски на кремниевую пластину? Да к тому же все это баснословно дорого. Надо было придумать, каким образом создавать изображение, которое было бы практически нечувствительным к дефектам маски. Ответ пришел, что называется, сам собой: просто следовало использовать голографический способ генерации изображения. И я решил, что нужно заняться решением этой проблемы — разработкой фотолитографии, использующей голографическую маску. Если бы мне кто-нибудь рассказал, какой путь потребуется пройти, чтобы сделать это, — а разработка началась в конце 2001-го, — я не уверен, что взялся бы за это дело. Но тогда была полная разруха, эмигрировать я не собирался. А значит, надо было придумать, чем заняться.

 

Почему именно голография? Во-первых, разумеется предельно упрощая, можно сказать, что каждая точка голограммы несет информацию обо всем изображении. И поэтому влияние локальных дефектов на получаемое изображение пренебрежимо мало. По нашим оценкам получалось, что даже при дефектах, занимающих до одного процента площади голограммной маски, качество создаваемого с ее помощью изображения практически не пострадает. То есть чувствительность изображения к локальным дефектам голограммной маски была на 9–10 порядков меньше, чем у обычной проекционной. В результате существенно снижаются требования к технологии хранения масок, сокращаются дорогостоящие регулярный контроль и ремонт масок, а срок службы голограммных масок становился практически «вечным», радикально снижались требования к параметрам «чистых комнат». Мы, например, свои первые результаты получили просто в комнате, расположенной, по сути, при гараже, — как бы следуя традициям, заложенным Хьюлеттом и Паккардом, Джобсом и Возняком. Очень хотелось бы, чтобы и наши конечные результаты оказались подобны результатам предшественников (шутка!).

 

 

https://expert.ru/expert/2016/36/preodolet-smertelnyie-defektyi/

Аватар пользователя Polaris
Polaris(10 лет 2 месяца)

К сожалению, ведется уже за границей...
Оттуда же:
"

Мы организовали швейцарскую фирму Nanotech SWHL GmbH, получили разрешения на работу для части российских специалистов, и у нее появился швейцарский директор. Empa выделила деньги на закупку оборудования, но нам самим нужно было найти деньги на зарплату и на проживание. Мы их сейчас находим, к сожалению потихонечку. Друзья помогают.

— А в России желающих вас поддержать не нашлось?

Нас очень активно поддерживал и поддерживает академик Владимир Борисович Бетелин, научный руководитель НИИСИ РАН. Без его помощи мы вряд ли смогли бы получить достигнутые сегодня результаты. Но его финансовые возможности весьма ограниченны.

Аватар пользователя Red_perez
Red_perez(8 лет 2 недели)

безмасочной рентгеновской нанолитографии

Без масок нельзя, штраф влепят

Аватар пользователя Поллитрович
Поллитрович(11 лет 3 недели)

Поддерживаю! Все должны быть в масках, включая этих ваших, как их... Литографиев!

Скрытый комментарий LDMax (без обсуждения)
Аватар пользователя LDMax
LDMax(6 лет 8 месяцев)

Литограф Литографыч протестует!

Аватар пользователя Тех Алекс
Тех Алекс(10 лет 8 месяцев)

Недавно многими ненавидимый мамомот интересную инфу про микроренгено спектроскопию в производстве размещал. Так что караван идет. Подобный госзаказ пишется под исполнителя.

Аватар пользователя kwaier
kwaier(12 лет 1 неделя)

мамомот интересную инфу про микроренгено спектроскопию в производстве размещал. Так что караван идет.

для тех кто не различает спектроскопию и литографию караван всегда идет, причем неважно куда идет

Аватар пользователя Тех Алекс
Тех Алекс(10 лет 8 месяцев)

Разница есть, но есть и спецы по тонкостям .

Аватар пользователя poxaby4
poxaby4(4 года 8 месяцев)

Разница примерно такая же, как между читающим Льва Толстого и самим Львом Толстым :)

Измерительные методики в нанометровом диапазоне (а окончание "скопия" говорит именно об измерениях) существуют и давно, и у многих стран. В отличие от литографии.

Аватар пользователя Dzhen
Dzhen(5 лет 5 месяцев)

мамомот походу все - забаненsmile4.gif

Комментарий администрации:  
*** отключен (маты, набросы, истерики) ***
Аватар пользователя Тех Алекс
Тех Алекс(10 лет 8 месяцев)

Пусть мне пишет, я перепощу.

Обьяснял ему про кнопку дел и как ей пользоваться, нет пособачится ему надо.

Аватар пользователя Николаев Александр

Шо, опять?

Аватар пользователя Тех Алекс
Тех Алекс(10 лет 8 месяцев)

Жив, где то отметился сегодня.

Аватар пользователя poxaby4
poxaby4(4 года 8 месяцев)

Хорошо бы прикрутить к АШ более гибкую бан-систему. Бан во всех разделах, кроме производства, технологий, импортозамещения, "сделаноунас" и т.д. вполне решил бы эту проблему.

Аватар пользователя Simurg
Simurg(9 лет 4 недели)

Она и так гибче некуда: каждый сам для себя решает, нужен ли ему этот комментатор под статьёй или нет.

Комментарий администрации:  
*** Уличен в клевете и ложном цитировании, отказ принести извинения - https://aftershock.news/?q=comment/11527284#comment-11527284 ***
Аватар пользователя Dzhen
Dzhen(5 лет 5 месяцев)

Ну видимо жахнули в правительстве, что нет своего производства микропроцессоров.

Комментарий администрации:  
*** отключен (маты, набросы, истерики) ***
Аватар пользователя Mike1975
Mike1975(7 лет 3 месяца)

Пора говорить "Вау !" или ещё рановато ?

Аватар пользователя Поллитрович
Поллитрович(11 лет 3 недели)

как 670 лямов освоят тогда и посмотрим )))

Аватар пользователя e-Jinn
e-Jinn(6 лет 3 месяца)

Вот и мне интересно стало. Может кто из комрадов в курсе?

Аватар пользователя Dzhen
Dzhen(5 лет 5 месяцев)

В целом тенденция отличная - это по сути локализация производства микропроцессоров на современном уровне. Думаю контроль жесткий будет, вряд ли нагреться дадут.

Комментарий администрации:  
*** отключен (маты, набросы, истерики) ***
Аватар пользователя Simurg
Simurg(9 лет 4 недели)

Очень сильно рано.

Нужны степперы, нужны фоторезистыб + хмия, нужны плазмохимические установки травления. Нужна куча вспомогательной машинерии и многомиллиардные инвестиции в сам завод (чистые помещение - тоже не просто цеха).

Нужно производство чистых газов, нужны фильтры.

Очень много чего нужно ещё.

Комментарий администрации:  
*** Уличен в клевете и ложном цитировании, отказ принести извинения - https://aftershock.news/?q=comment/11527284#comment-11527284 ***
Аватар пользователя Dzhen
Dzhen(5 лет 5 месяцев)

Завод есть в Зеленограде - его нужно прокачать.

Комментарий администрации:  
*** отключен (маты, набросы, истерики) ***
Аватар пользователя Николаев Александр

Там не прокачивать надо, там уже и так на оборудовании для 90 нм выжали 65 нм. Хоть последние получились золотыми по стоимости, но это предел. Более того там масочная фотолитография.

Аватар пользователя Dzhen
Dzhen(5 лет 5 месяцев)

Не согласен, там есть чистые комнаты - это уже не мало. Лучше его дооборудовать.

Комментарий администрации:  
*** отключен (маты, набросы, истерики) ***
Аватар пользователя Николаев Александр

Тогда это создание на базе имеющегося предприятия, а не модернизация. 

Аватар пользователя Simurg
Simurg(9 лет 4 недели)

Как вариант... Но прокачивать там будет очень сложно. Плюс - завод в Зеленограде рабочий. Реально рабочий, выпускает вполне коммЭрчески выгодно что-то там годное (не всё же требует лучших техпроцессов - те же билеты для метро нужны в бешеных количествах, а крутой техпроцесс там не требуется). 

Снести рабочее производство ради чистых комнат, которые всё равно не отвечают, скорее всего, требованиям тонкого технпроцесса - глупо, КМК. Каша из топора. Причём, годный топор портится необратимо.

Под новый техпроцесс нужно строить новый завод.

Комментарий администрации:  
*** Уличен в клевете и ложном цитировании, отказ принести извинения - https://aftershock.news/?q=comment/11527284#comment-11527284 ***
Аватар пользователя Bzz
Bzz(9 лет 4 месяца)

Насчет "работает" - есть какие-то источники?

А сносить все равно не надо. Пусть, как раз, работает уже.

Аватар пользователя Simurg
Simurg(9 лет 4 недели)

Дык, как бы общеизвестно.

"Микрон" довольно много чего делает. Да, техпроцессы отсталые, но зато своё.

Ну и как бы те же чипы для карт - ну надо же на чём-то печатать. Не 7нм техпроцесс же для них использовать. Если  тех же китайцев брать, то у них таких заводов масса работает - именно на ширпотреб. По стоимости чипа немного, но объёмы там только Московское Метро нефиговые у них забирает.

Комментарий администрации:  
*** Уличен в клевете и ложном цитировании, отказ принести извинения - https://aftershock.news/?q=comment/11527284#comment-11527284 ***
Аватар пользователя vadim144
vadim144(14 лет 2 месяца)

   Для класса Indastri/Militari/Space вполне достаточный размер, меньше не надо. 

Аватар пользователя Николаев Александр

нужны фоторезисты

Тут безмасочная фотолитография.

Нужна куча вспомогательной машинерии и многомиллиардные инвестиции в сам завод (чистые помещение - тоже не просто цеха).

Вот с этим самая беда, особенно с чистыми комнатами...

Аватар пользователя BapBap
BapBap(11 лет 6 месяцев)

Для, например,  известного маппера не нужны были сильно чистые комнаты.  Собственно, завод должен был стоить на 2 порядка дешевле обычного. (в 100 раз)

Аватар пользователя Simurg
Simurg(9 лет 4 недели)

Так а что, для безмасочной фоторезисты не нужны? :)

Разница лишь в том, что там маска сразу затеняет и засвечивает нужные места фоторезиста, а тут - нужные места засвечиваются без маски.

Комментарий администрации:  
*** Уличен в клевете и ложном цитировании, отказ принести извинения - https://aftershock.news/?q=comment/11527284#comment-11527284 ***
Аватар пользователя Николаев Александр

Нужны, но не в таких количествах как для масочной в сверхтонких процессах. Там же несколько раз засвечивают. 

Аватар пользователя Simurg
Simurg(9 лет 4 недели)

Вы про фазовые маски? Там засвечивают несколько раз на тот же фоторезист, в этом смысл.

А так количество фоторезиста то же самое - грубо, сколько слоёв нужно нанести/стравить, столько и засветок. Никакой разницы с безмасочным тут нет, разница - только в способе засветки.

Ну и главное тут, конечно, не абсолютное количество (в любом случае там нужны крохи по меркам химии), а качественное - наличие или отсутствие годного состава и всей технологии работы с ним.

Комментарий администрации:  
*** Уличен в клевете и ложном цитировании, отказ принести извинения - https://aftershock.news/?q=comment/11527284#comment-11527284 ***
Аватар пользователя Николаев Александр

Давно проходил фотолитографию, вроде там наносили несколько слоёв резиста. Надо покурить бамбук. 

Ну и главное тут, конечно, не абсолютное количество (в любом случае там нужны крохи по меркам химии), а качественное - наличие или отсутствие годного состава и всей технологии работы с ним.

Это тонкая химия, я честно, не в курсе как она у нас сейчас себя чувствует.

Аватар пользователя johnsib
johnsib(14 лет 2 месяца)

Статья 2012 года, тогда была философия "все купим на западе".. но суть показана..Что сказать, созрели, но потеряли 10 лет, отстали, забыли на 10..  Это цена веры в глобализацию и веры в либеральные ценности которые мы 20 лет все делили-делили с западом, но так и не поделили

 

Сложить нанопасьянс

У России появился шанс стать мировым лидером в производстве фотолитографических машин. Но даже если она его упустит, мы в любом случае можем разработать технологии, которые станут основой следующего нанотехнологического уклада

 

 

https://expert.ru/expert/2012/04/slozhit-nanopasyans/

Аватар пользователя val1
val1(5 лет 3 месяца)

Это НИР - то есть демонстрация принципиальной возможности (или НЕвозможности, тоже бывает), до реально работающей системы... ну очень далеко.

Аватар пользователя Remchik
Remchik(14 лет 2 недели)

Когда ничего не было - было бесконечно далеко. А когда что-то есть - цель уже достижима.

Аватар пользователя Советчик
Советчик(7 лет 9 месяцев)

После НИР обычно следуют ОКР.

Комментарий администрации:  
*** Уличен в антисоветской лжи и набросах - https://aftershock.news/?q=comment/7625227#comment-7625227 ***
Аватар пользователя MikaP11o
MikaP11o(6 лет 1 месяц)

Там ещё несколько НИОКРов в промежутке может быть.

Аватар пользователя Советчик
Советчик(7 лет 9 месяцев)

Рановато. Недавно проходила новость про Ангстрем-Т. Они закупили на Тайване некоторое количество спецов вместе с семьями для эксплуатации в России. Со своими кадрами видать беда.

Комментарий администрации:  
*** Уличен в антисоветской лжи и набросах - https://aftershock.news/?q=comment/7625227#comment-7625227 ***
Аватар пользователя Николаев Александр

Скорее даже с технической культурой имеющихся.

Аватар пользователя Simurg
Simurg(9 лет 4 недели)

Ну очевидно же, что со своими кадрами беда. :) Не то что беда, а вообще никаких кадров, работавших на современных техпроцессах, нет. Вообще нет. Нет техпроцессов - нет кадров.

Комментарий администрации:  
*** Уличен в клевете и ложном цитировании, отказ принести извинения - https://aftershock.news/?q=comment/11527284#comment-11527284 ***

Страницы