НИР «Разработка установки безмасочной рентгеновской нанолитографии на основе МЭМС динамической маски для формирования наноструктур с размерами от 13 нм и ниже

Аватар пользователя e-Jinn

https://www.roseltorg.ru/procedure/0173100009521000167

Наименование процедуры

НИР «Разработка установки безмасочной рентгеновской нанолитографии на основе МЭМС динамической маски для формирования наноструктур с размерами от 13 нм и ниже на базе синхротронного и/или плазменного источника», шифр «Рентген-Литограф»

Организатор МИНИСТЕРСТВО ПРОМЫШЛЕННОСТИ И ТОРГОВЛИ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ (ИНН 7705596339)

Способ проведения Открытый конкурс в электронной форме

 

Кто-нибудь может прокомментировать насколько это серьёзно? 

Авторство: 
Копия чужих материалов
Комментарий автора: 

Предыдущая работа

"Разработка источника мягкого рентгеновского излучения на основе матрицы микрофокусных рентгеновских трубок для безмасочного литографа с разрешением лучше 10 нм"

была выполнена  "Национальный исследовательский университет "Московский институт электронной техники" (МИЭТ) в 2017-2020гг.

Предположительно этот же институт будет работать и по новой теме

Комментарии

Аватар пользователя Малый Евген
Малый Евген(10 лет 11 месяцев)

Кто-​нибудь может прокомментировать насколько это серьёзно? 

Зовите ВладиславЛа.

Скрытый комментарий SaloOAKy (c обсуждением)
Аватар пользователя SaloOAKy
SaloOAKy(9 лет 6 месяцев)

Он не придёт. Он может спамить кучей ссылок, вставлять кучу умных слов, говорить что занимался этим и знает светил научных по этим направляенияи. Но по факту он сам почтил, он кандидат философских наук, диплом казахский у него. И что философ может знать о нанолитогоафии ?

Аватар пользователя Simurg
Simurg(7 лет 9 месяцев)

Не в защиту конкретно Владислава :), но вообще, должно стыдно быть столь безграмотным. Это всё равно, что назвать его медиком, потому что он "доктор"

PhD - это не "доктор философских наук", а высшая научная степень в болонской системе, примерно равная советскому/российскому кандидату. PhD может быть в физике, в математике, в филологии, в инженерии.

"Philosophy" в philosophy doctor тут в изначальном греческом значении - "любящий знания" в такой-то области.

Комментарий администрации:  
*** Уличен в клевете и ложном цитировании, отказ принести извинения - https://aftershock.news/?q=comment/11527284#comment-11527284 ***
Аватар пользователя SaloOAKy
SaloOAKy(9 лет 6 месяцев)

Вы бы хоть изучили как это в России. Балакавриат, специалитет, магистратура, аспирантура, доктарунтура. 

Аватар пользователя Simurg
Simurg(7 лет 9 месяцев)

Я знаю, как это в России, - помесь болонской системы со своим родным. :)

Но я не понял, к чему было это возражение(?)? Вы не согласны с тем, что кандидат ~= PhD? или с чем? почему Вы думаете, что мне нужно что-то "изучить"?

Комментарий администрации:  
*** Уличен в клевете и ложном цитировании, отказ принести извинения - https://aftershock.news/?q=comment/11527284#comment-11527284 ***
Аватар пользователя SaloOAKy
SaloOAKy(9 лет 6 месяцев)

Если написано к.ф.н. То наверно вряд ли человек занимается дронами и литографией. Потому как по возрасту Владислав защищал свою кандидатскую то ли в конце 80-х, то ли в начале 90-х. Причём тут новвя Болонский система и звание доктор философии я?

Аватар пользователя Simurg
Simurg(7 лет 9 месяцев)

Это кандидат физических наук. Где-то он утверждал, что у него PhD.

Физическое образование он имеет. 100%. Как минимум, профильный ВУЗ. Это совершенно точно, по тексту видно.

В отличие от многих других местных шизофреников, даже когда он несёт бред с манией величия, у него концы с концами сходятся, и он не выходит за рамки физически реального (бредятина про рептилоидов и гаплогруппы - оно да, но это не про физику). Совершенно точно, что физику он учил не в школе и не сводный курс в заборостроительном.

Комментарий администрации:  
*** Уличен в клевете и ложном цитировании, отказ принести извинения - https://aftershock.news/?q=comment/11527284#comment-11527284 ***
Аватар пользователя johnsib
johnsib(12 лет 11 месяцев)

так с 2001 года работа ведется..

— И какой же выход вы нашли?

— Столкнувшись со всеми эти фактами, я тогда впервые подумал: а зачем вообще использовать проекционный метод, раз при проекции вы неизбежно передаете все дефекты с маски на кремниевую пластину? Да к тому же все это баснословно дорого. Надо было придумать, каким образом создавать изображение, которое было бы практически нечувствительным к дефектам маски. Ответ пришел, что называется, сам собой: просто следовало использовать голографический способ генерации изображения. И я решил, что нужно заняться решением этой проблемы — разработкой фотолитографии, использующей голографическую маску. Если бы мне кто-нибудь рассказал, какой путь потребуется пройти, чтобы сделать это, — а разработка началась в конце 2001-го, — я не уверен, что взялся бы за это дело. Но тогда была полная разруха, эмигрировать я не собирался. А значит, надо было придумать, чем заняться.

 

Почему именно голография? Во-первых, разумеется предельно упрощая, можно сказать, что каждая точка голограммы несет информацию обо всем изображении. И поэтому влияние локальных дефектов на получаемое изображение пренебрежимо мало. По нашим оценкам получалось, что даже при дефектах, занимающих до одного процента площади голограммной маски, качество создаваемого с ее помощью изображения практически не пострадает. То есть чувствительность изображения к локальным дефектам голограммной маски была на 9–10 порядков меньше, чем у обычной проекционной. В результате существенно снижаются требования к технологии хранения масок, сокращаются дорогостоящие регулярный контроль и ремонт масок, а срок службы голограммных масок становился практически «вечным», радикально снижались требования к параметрам «чистых комнат». Мы, например, свои первые результаты получили просто в комнате, расположенной, по сути, при гараже, — как бы следуя традициям, заложенным Хьюлеттом и Паккардом, Джобсом и Возняком. Очень хотелось бы, чтобы и наши конечные результаты оказались подобны результатам предшественников (шутка!).

 

 

https://expert.ru/expert/2016/36/preodolet-smertelnyie-defektyi/

Аватар пользователя Polaris
Polaris(8 лет 11 месяцев)

К сожалению, ведется уже за границей...
Оттуда же:
"

Мы организовали швейцарскую фирму Nanotech SWHL GmbH, получили разрешения на работу для части российских специалистов, и у нее появился швейцарский директор. Empa выделила деньги на закупку оборудования, но нам самим нужно было найти деньги на зарплату и на проживание. Мы их сейчас находим, к сожалению потихонечку. Друзья помогают.

— А в России желающих вас поддержать не нашлось?

Нас очень активно поддерживал и поддерживает академик Владимир Борисович Бетелин, научный руководитель НИИСИ РАН. Без его помощи мы вряд ли смогли бы получить достигнутые сегодня результаты. Но его финансовые возможности весьма ограниченны.

Аватар пользователя Red_perez
Red_perez(6 лет 9 месяцев)

безмасочной рентгеновской нанолитографии

Без масок нельзя, штраф влепят

Аватар пользователя Поллитрович
Поллитрович(9 лет 9 месяцев)

Поддерживаю! Все должны быть в масках, включая этих ваших, как их... Литографиев!

Скрытый комментарий LDMax (без обсуждения)
Аватар пользователя LDMax
LDMax(5 лет 5 месяцев)

Литограф Литографыч протестует!

Аватар пользователя Тех Алекс
Тех Алекс(9 лет 5 месяцев)

Недавно многими ненавидимый мамомот интересную инфу про микроренгено спектроскопию в производстве размещал. Так что караван идет. Подобный госзаказ пишется под исполнителя.

Аватар пользователя kwaier
kwaier(10 лет 9 месяцев)

мамомот интересную инфу про микроренгено спектроскопию в производстве размещал. Так что караван идет.

для тех кто не различает спектроскопию и литографию караван всегда идет, причем неважно куда идет

Аватар пользователя Тех Алекс
Тех Алекс(9 лет 5 месяцев)

Разница есть, но есть и спецы по тонкостям .

Аватар пользователя poxaby4
poxaby4(3 года 5 месяцев)

Разница примерно такая же, как между читающим Льва Толстого и самим Львом Толстым :)

Измерительные методики в нанометровом диапазоне (а окончание "скопия" говорит именно об измерениях) существуют и давно, и у многих стран. В отличие от литографии.

Аватар пользователя Dzhen
Dzhen(4 года 2 месяца)

мамомот походу все - забаненsmile4.gif

Комментарий администрации:  
*** отключен (маты, набросы, истерики) ***
Аватар пользователя Тех Алекс
Тех Алекс(9 лет 5 месяцев)

Пусть мне пишет, я перепощу.

Обьяснял ему про кнопку дел и как ей пользоваться, нет пособачится ему надо.

Аватар пользователя Николаев Александр

Шо, опять?

Аватар пользователя Тех Алекс
Тех Алекс(9 лет 5 месяцев)

Жив, где то отметился сегодня.

Аватар пользователя poxaby4
poxaby4(3 года 5 месяцев)

Хорошо бы прикрутить к АШ более гибкую бан-систему. Бан во всех разделах, кроме производства, технологий, импортозамещения, "сделаноунас" и т.д. вполне решил бы эту проблему.

Аватар пользователя Simurg
Simurg(7 лет 9 месяцев)

Она и так гибче некуда: каждый сам для себя решает, нужен ли ему этот комментатор под статьёй или нет.

Комментарий администрации:  
*** Уличен в клевете и ложном цитировании, отказ принести извинения - https://aftershock.news/?q=comment/11527284#comment-11527284 ***
Аватар пользователя Dzhen
Dzhen(4 года 2 месяца)

Ну видимо жахнули в правительстве, что нет своего производства микропроцессоров.

Комментарий администрации:  
*** отключен (маты, набросы, истерики) ***
Аватар пользователя Mike1975
Mike1975(6 лет 2 часа)

Пора говорить "Вау !" или ещё рановато ?

Аватар пользователя Поллитрович
Поллитрович(9 лет 9 месяцев)

как 670 лямов освоят тогда и посмотрим )))

Аватар пользователя e-Jinn
e-Jinn(4 года 12 месяцев)

Вот и мне интересно стало. Может кто из комрадов в курсе?

Аватар пользователя Dzhen
Dzhen(4 года 2 месяца)

В целом тенденция отличная - это по сути локализация производства микропроцессоров на современном уровне. Думаю контроль жесткий будет, вряд ли нагреться дадут.

Комментарий администрации:  
*** отключен (маты, набросы, истерики) ***
Аватар пользователя Simurg
Simurg(7 лет 9 месяцев)

Очень сильно рано.

Нужны степперы, нужны фоторезистыб + хмия, нужны плазмохимические установки травления. Нужна куча вспомогательной машинерии и многомиллиардные инвестиции в сам завод (чистые помещение - тоже не просто цеха).

Нужно производство чистых газов, нужны фильтры.

Очень много чего нужно ещё.

Комментарий администрации:  
*** Уличен в клевете и ложном цитировании, отказ принести извинения - https://aftershock.news/?q=comment/11527284#comment-11527284 ***
Аватар пользователя Dzhen
Dzhen(4 года 2 месяца)

Завод есть в Зеленограде - его нужно прокачать.

Комментарий администрации:  
*** отключен (маты, набросы, истерики) ***
Аватар пользователя Николаев Александр

Там не прокачивать надо, там уже и так на оборудовании для 90 нм выжали 65 нм. Хоть последние получились золотыми по стоимости, но это предел. Более того там масочная фотолитография.

Аватар пользователя Dzhen
Dzhen(4 года 2 месяца)

Не согласен, там есть чистые комнаты - это уже не мало. Лучше его дооборудовать.

Комментарий администрации:  
*** отключен (маты, набросы, истерики) ***
Аватар пользователя Николаев Александр

Тогда это создание на базе имеющегося предприятия, а не модернизация. 

Аватар пользователя Simurg
Simurg(7 лет 9 месяцев)

Как вариант... Но прокачивать там будет очень сложно. Плюс - завод в Зеленограде рабочий. Реально рабочий, выпускает вполне коммЭрчески выгодно что-то там годное (не всё же требует лучших техпроцессов - те же билеты для метро нужны в бешеных количествах, а крутой техпроцесс там не требуется). 

Снести рабочее производство ради чистых комнат, которые всё равно не отвечают, скорее всего, требованиям тонкого технпроцесса - глупо, КМК. Каша из топора. Причём, годный топор портится необратимо.

Под новый техпроцесс нужно строить новый завод.

Комментарий администрации:  
*** Уличен в клевете и ложном цитировании, отказ принести извинения - https://aftershock.news/?q=comment/11527284#comment-11527284 ***
Аватар пользователя Bzz
Bzz(8 лет 3 недели)

Насчет "работает" - есть какие-то источники?

А сносить все равно не надо. Пусть, как раз, работает уже.

Аватар пользователя Simurg
Simurg(7 лет 9 месяцев)

Дык, как бы общеизвестно.

"Микрон" довольно много чего делает. Да, техпроцессы отсталые, но зато своё.

Ну и как бы те же чипы для карт - ну надо же на чём-то печатать. Не 7нм техпроцесс же для них использовать. Если  тех же китайцев брать, то у них таких заводов масса работает - именно на ширпотреб. По стоимости чипа немного, но объёмы там только Московское Метро нефиговые у них забирает.

Комментарий администрации:  
*** Уличен в клевете и ложном цитировании, отказ принести извинения - https://aftershock.news/?q=comment/11527284#comment-11527284 ***
Аватар пользователя vadim144
vadim144(12 лет 11 месяцев)

   Для класса Indastri/Militari/Space вполне достаточный размер, меньше не надо. 

Аватар пользователя Николаев Александр

нужны фоторезисты

Тут безмасочная фотолитография.

Нужна куча вспомогательной машинерии и многомиллиардные инвестиции в сам завод (чистые помещение - тоже не просто цеха).

Вот с этим самая беда, особенно с чистыми комнатами...

Аватар пользователя BapBap
BapBap(10 лет 3 месяца)

Для, например,  известного маппера не нужны были сильно чистые комнаты.  Собственно, завод должен был стоить на 2 порядка дешевле обычного. (в 100 раз)

Аватар пользователя Simurg
Simurg(7 лет 9 месяцев)

Так а что, для безмасочной фоторезисты не нужны? :)

Разница лишь в том, что там маска сразу затеняет и засвечивает нужные места фоторезиста, а тут - нужные места засвечиваются без маски.

Комментарий администрации:  
*** Уличен в клевете и ложном цитировании, отказ принести извинения - https://aftershock.news/?q=comment/11527284#comment-11527284 ***
Аватар пользователя Николаев Александр

Нужны, но не в таких количествах как для масочной в сверхтонких процессах. Там же несколько раз засвечивают. 

Аватар пользователя Simurg
Simurg(7 лет 9 месяцев)

Вы про фазовые маски? Там засвечивают несколько раз на тот же фоторезист, в этом смысл.

А так количество фоторезиста то же самое - грубо, сколько слоёв нужно нанести/стравить, столько и засветок. Никакой разницы с безмасочным тут нет, разница - только в способе засветки.

Ну и главное тут, конечно, не абсолютное количество (в любом случае там нужны крохи по меркам химии), а качественное - наличие или отсутствие годного состава и всей технологии работы с ним.

Комментарий администрации:  
*** Уличен в клевете и ложном цитировании, отказ принести извинения - https://aftershock.news/?q=comment/11527284#comment-11527284 ***
Аватар пользователя Николаев Александр

Давно проходил фотолитографию, вроде там наносили несколько слоёв резиста. Надо покурить бамбук. 

Ну и главное тут, конечно, не абсолютное количество (в любом случае там нужны крохи по меркам химии), а качественное - наличие или отсутствие годного состава и всей технологии работы с ним.

Это тонкая химия, я честно, не в курсе как она у нас сейчас себя чувствует.

Аватар пользователя johnsib
johnsib(12 лет 11 месяцев)

Статья 2012 года, тогда была философия "все купим на западе".. но суть показана..Что сказать, созрели, но потеряли 10 лет, отстали, забыли на 10..  Это цена веры в глобализацию и веры в либеральные ценности которые мы 20 лет все делили-делили с западом, но так и не поделили

 

Сложить нанопасьянс

У России появился шанс стать мировым лидером в производстве фотолитографических машин. Но даже если она его упустит, мы в любом случае можем разработать технологии, которые станут основой следующего нанотехнологического уклада

 

 

https://expert.ru/expert/2012/04/slozhit-nanopasyans/

Аватар пользователя val1
val1(4 года 2 недели)

Это НИР - то есть демонстрация принципиальной возможности (или НЕвозможности, тоже бывает), до реально работающей системы... ну очень далеко.

Аватар пользователя Remchik
Remchik(12 лет 9 месяцев)

Когда ничего не было - было бесконечно далеко. А когда что-то есть - цель уже достижима.

Аватар пользователя Советчик
Советчик(6 лет 6 месяцев)

После НИР обычно следуют ОКР.

Комментарий администрации:  
*** Уличен в антисоветской лжи и набросах - https://aftershock.news/?q=comment/7625227#comment-7625227 ***
Аватар пользователя MikaP11o
MikaP11o(4 года 10 месяцев)

Там ещё несколько НИОКРов в промежутке может быть.

Аватар пользователя Советчик
Советчик(6 лет 6 месяцев)

Рановато. Недавно проходила новость про Ангстрем-Т. Они закупили на Тайване некоторое количество спецов вместе с семьями для эксплуатации в России. Со своими кадрами видать беда.

Комментарий администрации:  
*** Уличен в антисоветской лжи и набросах - https://aftershock.news/?q=comment/7625227#comment-7625227 ***
Аватар пользователя Николаев Александр

Скорее даже с технической культурой имеющихся.

Аватар пользователя Simurg
Simurg(7 лет 9 месяцев)

Ну очевидно же, что со своими кадрами беда. :) Не то что беда, а вообще никаких кадров, работавших на современных техпроцессах, нет. Вообще нет. Нет техпроцессов - нет кадров.

Комментарий администрации:  
*** Уличен в клевете и ложном цитировании, отказ принести извинения - https://aftershock.news/?q=comment/11527284#comment-11527284 ***

Страницы